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龙图腾网获悉国际商业机器公司申请的专利在线端的自对准顶部过孔形成获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114503249B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080069804.0，技术领域涉及：H01L21/768；该发明授权在线端的自对准顶部过孔形成是由A.杜塔;J.阿诺德;D.梅特兹勒设计研发完成，并于2020-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本在线端的自对准顶部过孔形成在说明书摘要公布了：一种在线端处形成自对准过孔2302、2402的方法，包括：图案化偶数奇数金属线202、302，包括使用第一第二硬掩模102、104；使用切割掩模402、1102切割硬掩模102、104和选定金属线202、302，偶数或奇数的，所述切割掩模具有窗口404，所述窗口在选定金属线202、302的切割区域之上暴露硬掩模102、104；扩大所述窗口404以暴露所述切割区域的任一侧上的所述硬掩模102、104；使用扩大的窗口1104选择性地蚀刻所述硬掩模102、104，以在所述切割区域内形成T形空腔902、1502；用间隙填充电介质2002填充所述T形腔902、1502；去除所述硬掩模102、104；以及使所述金属线凹陷202、302，其中所述间隙填充电介质2002悬垂于所述选定金属线202、302的通过所述凹陷在所述金属线202、302的端部处形成所述自对准过孔2302、2402的部分。还提供了一种结构。

本发明授权在线端的自对准顶部过孔形成在权利要求书中公布了：1.一种在线端处形成自对准过孔的方法，所述方法包括以下步骤： 使用硬掩模图案化包括交替的偶数金属线和奇数金属线的金属线，所述硬掩模包括用于图案化所述偶数金属线的第一硬掩模和用于图案化所述奇数金属线的第二硬掩模； 使用切割掩模切割所述硬掩模和选定的偶数金属线或选定的奇数金属线，所述切割掩模具有在选定的金属线的切割区域上方暴露所述硬掩模的窗口； 扩大所述切割掩模中的所述窗口以暴露选定的金属线的所述切割区域的任一侧上的所述硬掩模； 使用所述切割掩模中的扩大的窗口选择性地蚀刻所述硬掩模，以在选定的金属线的所述切割区域内形成T形空腔； 用间隙填充电介质填充所述T形空腔； 去除所述硬掩模；以及 使选定的金属线相对于所述间隙填充电介质选择性地凹陷，其中所述间隙填充电介质悬垂于选定的金属线的通过所述凹陷而在所述选定的金属线的端部处形成所述自对准过孔的部分； 其中，所述第一硬掩模和所述第二硬掩模包括不同的材料。

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