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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114527625B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111396154.3，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权用于处理基板的设备是由严基象;李正悦;丁宣旭;柳杨烈设计研发完成，并于2021-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于处理基板的设备在说明书摘要公布了：一种用于处理基板的设备包括：处理容器，其具有内部空间；支撑单元，其具有支撑板，所述支撑板配置成在所述内部空间中支撑和旋转所述基板；液体供应单元，其配置成将处理液体供应至由所述支撑单元支撑的所述基板；以及排气单元，其配置成排放所述内部空间中的空气流，其中所述排气单元包括空气流引导管，所述空气流引导管引导由于由所述支撑单元支撑的所述基板的旋转而在所述基板上流向所述基板的外侧的空气流的流动方向，并且所述空气流引导管具有入口，空气流被引入所述入口中，所述入口设置在与由所述支撑单元支撑的所述基板基本相同的水平处。

本发明授权用于处理基板的设备在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的设备，所述设备包括： 处理容器，所述处理容器具有内部空间； 支撑单元，所述支撑单元具有支撑板，所述支撑板配置成在所述内部空间中支撑和旋转所述基板； 液体供应单元，所述液体供应单元配置成将处理液体供应至由所述支撑单元支撑的所述基板；以及 排气单元，所述排气单元配置成排放所述内部空间中的空气流， 其中，所述支撑单元包括： 旋转轴，所述旋转轴使所述支撑板旋转； 致动器，所述致动器联接到所述旋转轴并且向所述旋转轴提供旋转动力， 其中，所述处理容器包括： 外杯，所述外杯提供所述内部空间； 内杯，所述内杯放置在所述内部空间中以与所述外杯分开，并且围绕所述旋转轴， 其中，所述内杯在所述支撑板下方的区域中限定排气空间， 其中，所述排气单元包括： 空气流引导管，所述空气流引导管引导由于所述支撑单元所支撑的所述基板的旋转而在所述基板上流向所述基板的外侧的空气流的流动方向，并且所述空气流引导管具有入口，空气流被引入所述入口中， 单独排气管，所述单独排气管用于将被引入所述排气空间中的空气流排放到所述内部空间的外部； 具有安装的压力调节构件的集成排气管，所述单独排气管和所述空气流引导管连接到所述集成排气管， 其中，所述空气流引导管放置在所述处理容器的外侧， 其中，所述空气流引导管的一端连接到所述外杯，另一端连接到所述集成排气管， 其中，所述空气流引导管包括： 空气流引入部分，所述空气流引入部分包括用于将空气流引入所述内部空间中的所述入口； 空气流排放部分，所述空气流排放部分连接到所述集成排气管；以及 连接部分，所述连接部分连接所述空气流引入部分和所述空气流排放部分， 其中，所述空气流引导管形成为从所述内部空间延伸到所述处理容器的外部，所述空气流排放部分包括连接到所述集成排气管的出口，所述空气流引入部分的所述入口设置在所述内部空间中，并且所述空气流排放部分的所述出口设置在所述处理容器的外侧。

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