浜松光子学株式会社铃木大几获国家专利权
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龙图腾网获悉浜松光子学株式会社申请的专利反射镜器件的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114585585B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080073186.7，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权反射镜器件的制造方法是由铃木大几;松本享宏;井出智行;高桥干人设计研发完成，并于2020-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本反射镜器件的制造方法在说明书摘要公布了：本发明的反射镜器件的制造方法，其中，反射镜器件具备：包含基底部和支撑在基底部的可动部的结构体、以及设置在可动部的反射镜层，本发明的反射镜器件的制造方法具备：准备具有支撑层、器件层和配置在支撑层与器件层之间的中间层的晶圆的第一工序；在第一工序之后，通过将支撑层、器件层和中间层中的各个的一部分从晶圆去除，以可动部相对于基底部可动的方式在晶圆形成狭缝，并且将分别与结构体对应的多个部分形成在晶圆的第二工序；在第二工序之后，实施通过清洗液清洗晶圆的湿法清洗的第三工序；以及在第三工序之后，将多个部分中的各个从晶圆切出的第四工序，在第二工序中，将中间层的一部分通过各向异性蚀刻从晶圆去除。
本发明授权反射镜器件的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种反射镜器件的制造方法，其中， 所述反射镜器件具备：包含基底部和支撑在所述基底部的可动部的结构体、以及设置在所述可动部的反射镜层， 所述反射镜器件的制造方法具备： 准备具有支撑层、器件层和配置在所述支撑层与所述器件层之间的中间层的晶圆的第一工序； 在所述第一工序之后，通过将所述支撑层、所述器件层和所述中间层中的各个的一部分从所述晶圆去除，以所述可动部相对于所述基底部可动的方式在所述晶圆形成狭缝，并且将分别与所述结构体对应的多个部分形成在所述晶圆的第二工序； 在所述第二工序之后，实施通过清洗液清洗所述晶圆的湿法清洗的第三工序；以及 在所述第三工序之后，将所述多个部分中的各个从所述晶圆切出的第四工序， 在所述第二工序中，将所述中间层的一部分通过各向异性蚀刻从所述晶圆去除， 在所述第三工序中，在所述可动部相对于所述基底部可动的状态下，实施所述湿法清洗。
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