细美事有限公司金成昊获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114639615B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111447661.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由金成昊;郑贤稙;林龙泰;朴常勋设计研发完成，并于2021-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置。基板处理装置包括：台，基板被提供到所述台；喷墨头，布置在所述台上，并且向所述基板提供药液；壳体，所述壳体的下表面形成有供所述喷墨头插入的药液排出槽；以及盖，设置于所述壳体，并且能够向所述喷墨头的下部移动从而关闭所述药液排出槽。
本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，包括： 台，基板被提供到所述台； 喷墨头，布置在所述台上，并且向所述基板提供药液； 壳体，所述壳体的下表面形成有供所述喷墨头插入的药液排出槽；以及 盖，设置于所述壳体，并且能够向所述喷墨头的下部移动从而关闭所述药液排出槽， 其中，所述喷墨头包括第一喷墨头和第二喷墨头，以及 所述药液排出槽包括供所述第一喷墨头插入的第一药液排出槽和供所述第二喷墨头插入的第二药液排出槽， 其中，所述盖包括相邻位于所述第一喷墨头和所述第二喷墨头之间的中间区域的第一盖和第二盖， 其中，所述第一盖能够在所述中间区域与所述第一喷墨头的下部之间移动从而打开或关闭所述第一药液排出槽，并且所述第二盖能够在所述中间区域与所述第二喷墨头的下部之间移动从而打开或关闭所述第二药液排出槽。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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