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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利处理设备及工件的处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695169B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110148827.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权处理设备及工件的处理方法是由陈鲁;张朝前;马砚忠;王南朔;张嵩设计研发完成，并于2021-02-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本处理设备及工件的处理方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种处理设备及工件的处理方法。该处理设备包括加热气路系统。该加热气路系统用于对工件的待清洁区吹扫加热气体，所述加热气体用于对待清洁区进行加热，并通过吹扫去除待清洁区的污染层。本申请的处理设备及工件的处理方法中，加热气路系统能够对工件的待清洁区进行加热处理，并通过吹扫加热气体去除待清洁区的污染层，加热气体可以抑制气体环境中的污染源附着在工件的待清洁区的表面，防止污染层重新生长，从而保证处理设备的处理精度。

本发明授权处理设备及工件的处理方法在权利要求书中公布了：1.一种处理设备，其特征在于，包括： 处理系统，所述处理系统包括检测模块，所述检测模块用于对工件进行检测，获取所述工件的待测参数； 所述检测模块包括椭偏仪模块；所述椭偏仪模块用于检测透明膜、无膜固体样品、多层膜、吸收膜中的至少一种；所述椭偏仪模块包括： 光源，用于产生初始光束； 起偏组件，用于调节所述初始光束的偏振，形成偏振检测光，所述偏振检测光经工件后形成信号光； 检偏组件，用于调节所述信号光的偏振，形成偏振信号光； 探测组件，用于接收所述偏振信号光，并根据所述偏振信号光获取工件的待测参数； 所述初始光束为单波长光或宽光谱光； 所述处理设备还包括： 加热气路系统，用于对所述工件的待清洁区吹扫加热气体，所述加热气体用于对所述待清洁区进行加热，并通过吹扫去除所述待清洁区的污染层； 所述加热气路系统包括： 气体喷嘴，所述气体喷嘴用于对所述工件的待清洁区吹扫所述加热气体； 所述气体喷嘴的出口被配置为使到达所述工件表面的加热气体的吹扫区域大于或等于所述处理系统中检测模块的光源发出的光线投射到所述工件形成的光斑的大小； 所述处理设备还包括：吹扫控制单元，所述吹扫控制单元用于： 在所述工件的厚度大于预定阈值时，控制所述加热气路系统对工件的待清洁区持续吹扫所述加热气体； 在所述工件的厚度小于预定阈值时，控制所述加热气路系统对工件的待清洁区以脉冲方式吹扫洒所述加热气体； 在所述检测过程中，所述气体喷嘴用于对所述工件的待清洁区吹扫加热气体，所述加热气体用于对所述待清洁区进行加热，并通过吹扫去除所述待清洁区的污染层。

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