细美事有限公司李茂贤获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利处理液供应装置以及处理液供应方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114724974B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110848339.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权处理液供应装置以及处理液供应方法是由李茂贤设计研发完成，并于2021-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本处理液供应装置以及处理液供应方法在说明书摘要公布了：本发明是处理液供应装置以及处理液供应方法，涉及如下方案：为了改善通过处理液的基板处理工艺中选择比，处理液供应单元在调整二氧化硅的供应量的同时混合处理液物质并基于基板处理条件调节处理液的浓度和温度后向基板处理装置供应，通过与所述处理液供应单元空间上分离的处理液再循环单元回收处理液并调节处理液的水分浓度和温度后供应再生处理液。
本发明授权处理液供应装置以及处理液供应方法在权利要求书中公布了：1.一种处理液供应装置，其特征在于，包括： 处理液供应单元，包括向基板处理装置供应处理液的主供应部以及根据基板处理条件调整处理液并向所述主供应部提供的调整供应部； 处理液再循环单元，包括从所述基板处理装置回收处理液的回收部以及从所述回收部接收回收的处理液而根据再生条件调整处理液并向所述调整供应部提供的处理液再生部；以及 控制单元，控制所述处理液供应单元和所述处理液再循环单元的处理液的供应、调整、回收、再生或者废弃， 所述主供应部包括： 主供应槽罐，向所述基板处理装置供应处理液； 处理液供应管，从所述主供应槽罐向所述基板处理装置供应所述处理液； 采样管线，从所述处理液供应管分支而连接到所述主供应槽罐，并用于对从所述主供应槽罐供应的处理液进行采样并测定；以及 二氧化硅浓度计，用于测定包含在从所述采样管线中采样的处理液中的二氧化硅浓度。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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