南通玖方新材料科技有限公司高晗获国家专利权
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龙图腾网获悉南通玖方新材料科技有限公司申请的专利一种硅片承载装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114783922B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210399075.6，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权一种硅片承载装置是由高晗;吴明贵;刘小明;张清清;龚汉亮设计研发完成，并于2022-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片承载装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种硅片承载装置，包括由横梁、竖梁连接组成的承载框，横梁、竖梁通过法兰连接；所述法兰包括法兰本体，法兰本体与内侧的横梁固定件焊接，调节螺丝与横梁内孔螺纹连接；横梁端部穿入所述横梁固定件的内孔，止转螺钉顶紧在横梁上，对横梁进行止转固定；横梁上设有槽口，槽口与固定装置位置重合，横梁与固定装置通过焊接固定；所述固定装置上设有二个孔，其中第一个孔用来安装拉筋和放置在承载框上的托盘，第二个孔与第一个孔垂直，第二个孔中安装螺钉将拉筋和托盘顶紧固定。所述硅片放置框上设置有硅片卡点。本发明使用方便，可以有效提高镀膜效率，降低生产成本。
本发明授权一种硅片承载装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片承载装置，包括由横梁、竖梁连接组成的承载框，其特征是：横梁、竖梁通过法兰连接；所述法兰包括法兰本体，法兰本体与内侧的横梁固定件焊接，调节螺丝穿过竖梁上的螺丝孔、法兰本体上的螺丝孔后与横梁内孔螺纹连接，可以调节横梁和竖梁之间的距离；横梁端部穿入所述横梁固定件的内孔，止转螺钉穿过所述横梁固定件上的螺钉孔，顶紧在横梁上，对横梁进行止转固定； 横梁上设有槽口，槽口与固定装置位置重合，横梁与固定装置通过焊接固定；所述固定装置上设有二个孔，其中第一个孔用来安装拉筋和放置在承载框上的托盘，第二个孔与第一个孔垂直，第二个孔中安装螺钉将拉筋和托盘顶紧固定； 所述硅片放置框上设置有硅片卡点。
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