华海清科股份有限公司路新春获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种晶圆装卸装置及化学机械抛光系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114851075B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210677163.8，技术领域涉及：B24B37/34；该发明授权一种晶圆装卸装置及化学机械抛光系统是由路新春;吴兴;许振杰;王同庆;赵德文;张国铭设计研发完成，并于2022-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆装卸装置及化学机械抛光系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆装卸装置，其包括：托架，用于装载和或卸载晶圆；托架座，连接于托架下方，用于支撑托架；驱动机构，连接于托架座下方，用于驱动托架座沿竖向移动；其中，所述托架的周向配置有喷射件，并且，所述喷射件朝向托架中心倾斜向上设置；所述喷射件朝向上方喷射流体，以清洁保湿位于托架上方的承载头。
本发明授权一种晶圆装卸装置及化学机械抛光系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆装卸装置，其特征在于，包括： 托架，用于装载和或卸载晶圆； 托架座，连接于托架下方，用于支撑托架； 驱动机构，连接于托架座下方，用于驱动托架座沿竖向移动； 其中，所述托架的周向间隔配置有至少一个喷射件，并且，所述喷射件朝向托架中心倾斜向上设置，其相对于托架所在平面的倾斜角度为30-70°且位于晶圆放置区域的外侧，相邻喷射件的喷射角度不同，以形成不同尺寸的喷射区域；所述喷射件位于承载头的保持环、保持环与弹性膜形成的间隙和或弹性膜的边缘区域的下方； 所述托架为环状结构，其上表面配置有凹槽，喷射件朝向托架的中心倾斜设置于凹槽中； 所述托架的上方还设置有辅助喷射组件，其包括支撑架和辅助喷嘴，所述辅助喷嘴朝向托架的中心设置，以清洁保湿承载头的侧面和或放置于托架的晶圆；辅助喷嘴与托架上的喷射件沿托架的周向交错设置，其中轴线相对于支撑架所在平面的夹角为5-8°； 还包括信息检测件和控制单元，所述信息检测件朝向上侧设置于托架，以采集位于托架上方的承载头的表面数据，所述控制单元基于采集的表面数据确定喷射件的工艺参数；所述信息检测件沿托架的周向与喷射件交错设置，其通过图像采集的方式获取承载头表面的颗粒附着信息。
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