北京华卓精科科技股份有限公司吕青松获国家专利权
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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利光刻设备硅片承载台、组装方法及光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114967363B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210512915.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻设备硅片承载台、组装方法及光刻设备是由吕青松;高可可;李小锐设计研发完成，并于2022-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻设备硅片承载台、组装方法及光刻设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种光刻设备硅片承载台、及其组装方法和光刻设备，涉及光刻设备的技术领域。其中，光刻设备硅片承载台，包括短行程模块、转接结构和桥接板组件，转接结构与短行程模块固定连接，转接结构与桥接板组件可拆卸地固定连接。该光刻设备硅片承载台，通过将桥接板组件与桥接板组件可拆卸的固定连接，当测量硅片台和曝光硅片台发生碰撞导致桥接板组件发生破坏，或桥接板组件的上表面的疏水涂层因时间或碰撞发生失效时，将转接结构与桥接板组件拆开，更换发生损坏的桥接板组件。
本发明授权光刻设备硅片承载台、组装方法及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种光刻设备硅片承载台，其特征在于，包括短行程模块110、转接结构和桥接板组件130，所述转接结构与所述短行程模块110固定连接，所述转接结构与所述桥接板组件130可拆卸地固定连接；所述转接结构包括固定组件和桥接板安装件160，所述桥接板安装件160与所述桥接板组件130可拆卸的连接，所述固定组件与所述短行程模块110固定连接；所述固定组件包括第一固定块140和第二固定块150，所述第一固定块140和所述第二固定块150固定连接并通过第三定位结构定位，所述第一固定块140固定安装于所述短行程模块110，所述第二固定块150与所述桥接板安装件160固定连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京华卓精科科技股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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