北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所佟晓娜获国家专利权
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龙图腾网获悉北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所申请的专利一种MEMS陀螺仪驱动模态控制电路获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115388871B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210868472.3,技术领域涉及:G01C19/56;该发明授权一种MEMS陀螺仪驱动模态控制电路是由佟晓娜;陈雷;张龙;赵磊;翁勋维;王仕祯;张静;单连志设计研发完成,并于2022-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS陀螺仪驱动模态控制电路在说明书摘要公布了:本发明公开了一种MEMS陀螺仪驱动模态控制电路,电路包含了自激启动环路和驱动环路两大部分。其中自激启动环路包括CV转换电路、选频滤波器、移相电路、低通滤波器、驱动电路。驱动环路包括CV转换电路、ADC、数字滤波器、AGC幅度控制电路、PLL相位控制电路、DAC、环路滤波器、驱动电路。本发明采用自激振荡驱动方式与锁相环驱动方式相结合的驱动模态控制技术,既利用了自激振荡驱动方式起振速度快的优点,又避免了锁相环驱动方式需要预先设定初始频率的不足。同时还采用自适应调整与寄存器调整相结合的调整模式,针对不同陀螺表头谐振频率存在差异性的问题,快速对各个关键参数进行配置,从而使驱动环路快速跟踪陀螺表头的谐振频率,实现稳频稳幅振荡。
本发明授权一种MEMS陀螺仪驱动模态控制电路在权利要求书中公布了:1.一种MEMS陀螺仪驱动模态控制电路,其特征在于:采用自激振荡驱动方式与锁相环驱动方式相结合的驱动模态控制方式,包括CV转换电路、选频滤波器、移相电路、低通滤波器、驱动电路、ADC、DAC、数字滤波器、AGC幅度控制电路以及PLL相位控制电路; 其中,CV转换电路、选频滤波器、移相电路、低通滤波器以及驱动电路组成自激启动环路;自激启动环路中,CV转换电路的输入端连接MEMS陀螺仪表头驱动模态的检测电极,CV转换电路将MEMS陀螺仪的电容变化量转化为电压信号并进行放大,放大后的信号送给选频滤波器;选频滤波器将与MEMS陀螺仪表头谐振频率同频的信号提取出来并送入移相电路;移相电路用于产生90°相移,以抵消MEMS陀螺仪表头的驱动力与位移之间的90°相位差;移相后的信号经过低通滤波器滤波处理后传送到驱动电路,驱动能力得以增强后输出到MEMS陀螺仪表头的驱动电极,使得MEMS陀螺仪表头快速在其固有的谐振频率上谐振起来; CV转换电路、ADC、数字滤波器、AGC幅度控制电路、PLL相位控制电路、DAC、环路滤波器以及驱动电路组成闭环驱动环路;闭环驱动环路中,CV转换电路用于将MEMS陀螺仪的电容变化量转化为电压信号并放大,放大后的信号送给ADC电路将模拟信号转换为数字信号;数字信号再经数字滤波器滤波后将代表驱动模态幅值的信号输出到AGC幅度控制电路,同时将代表驱动模态相位的信号输出到PLL相位控制电路,两路信号经过乘法器调制后输出到DAC电路;DAC电路将数字信号转换为模拟信号,经过滤波后送入驱动电路;驱动电路用于增大信号的驱动能力,以给陀螺提供足够的驱动力;AGC幅度控制电路用于自动调节驱动电压的幅值,实现对驱动振幅的精确控制;PLL相位控制电路用于对驱动模态谐振频率和驱动模态检测信号的相位进行跟踪锁定; 自激振荡驱动方式用于陀螺仪表头的起振阶段,自激启动环路激励陀螺仪表头起振后,自激启动环路自动断开,基于AGC-PLL驱动方式的闭环驱动环路闭合,电路工作在基于AGC-PLL的锁相环驱动方式;此时表头已经处于谐振状态,PLL相位控制电路直接利用陀螺的谐振频率作为初始频率,无需预先设定初始频率,使闭环驱动环路快速实现稳频稳幅振荡;同时表头的谐振信号作为时钟锁相环的参考频率信号,用于产生系统时钟,实现系统同步。
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