拓荆科技股份有限公司高鹏飞获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利一种气体传输管路系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115585397B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211203791.9，技术领域涉及：F17D1/02；该发明授权一种气体传输管路系统是由高鹏飞;吴凤丽;杨华龙;赵坤;张启辉;张恩慈设计研发完成，并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气体传输管路系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，更具体的说，涉及一种气体传输管路系统。本发明提供了一种气体传输管路系统，包括化学源传输管路、化学源吹扫管路和连接管路：所述化学源传输管路，包括化学源输入管路和化学源输出管路；所述化学源输入管路，可通断地与化学源吹扫管路连接；所述化学源输出管路，可通断地与连接管路连接，设置有至少一个ALD阀；所述化学源吹扫管路，可通断地分别与化学源输入管路、化学源输出管路和连接管路连接；其中，所述化学源输出管路，设置有喷口；所述喷口，设置在所述至少一个ALD阀的上游位置。本发明提供的气体传输管路系统，既可以实现化学源流入量的精准控制，又可以大大提高吹扫效率，减少工艺时间，提高产量。
本发明授权一种气体传输管路系统在权利要求书中公布了：1.一种气体传输管路系统，其特征在于，包括化学源传输管路、化学源吹扫管路和连接管路： 所述化学源传输管路，包括化学源输入管路和化学源输出管路，所述化学源输入管路、化学源输出管路可通断地分别与化学源的输入口、输出口连接； 所述化学源输入管路，可通断地与化学源吹扫管路连接； 所述化学源输出管路，可通断地与连接管路连接，设置有至少一个ALD阀； 所述化学源吹扫管路，可通断地分别与化学源输入管路、化学源输出管路和连接管路连接； 所述连接管路，分别与反应腔体、分气管路连接； 其中，所述化学源输出管路，设置有喷口； 所述喷口，设置在所述至少一个ALD阀的上游位置。
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