意法半导体股份有限公司D·普拉蒂获国家专利权
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龙图腾网获悉意法半导体股份有限公司申请的专利具有改进的正交误差抑制的MEMS陀螺仪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115683077B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210909420.6，技术领域涉及：G01C19/5649；该发明授权具有改进的正交误差抑制的MEMS陀螺仪是由D·普拉蒂;L·G·法罗尼;L·奎利诺尼设计研发完成，并于2022-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有改进的正交误差抑制的MEMS陀螺仪在说明书摘要公布了：本公开涉及具有改进的正交误差抑制的MEMS陀螺仪。该MEMS陀螺仪由衬底、第一质量块和第二质量块形成，其中第一质量块和第二质量块悬置于衬底上方，并且在静止状态下在限定第一方向和横向于第一方向的第二方向的延伸平面中延伸。该MEMS陀螺仪还具有：驱动结构，被耦合至第一质量块，并且被配置为在使用中使第一质量块在第一方向上移动；以及弹性耦合结构，在第一质量块与第二质量块之间延伸，并且被配置为将第一质量块在第一方向上的移动与第二质量块在第二方向上的移动耦合。弹性耦合结构具有第一部分和第二部分，第一部分具有第一刚度，第二部分具有大于第一刚度的第二刚度。
本发明授权具有改进的正交误差抑制的MEMS陀螺仪在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统MEMS设备，包括： MEMS陀螺仪，包括： 衬底； 第一质量块和第二质量块，所述第一质量块和所述第二质量块悬置于所述衬底上方，并且在静止状态下在延伸平面中延伸，所述延伸衬底限定第一方向和横向于所述第一方向的第二方向； 驱动结构，被耦合至所述第一质量块，并且被配置为在使用中使所述第一质量块在所述第一方向上移动；以及 弹性耦合结构，在所述第一质量块与所述第二质量块之间延伸，并且被配置为将所述第一质量块在所述第一方向上的移动与所述第二质量块在所述第二方向上的移动耦合， 所述弹性耦合结构包括具有第一刚度的第一部分和具有第二刚度的第二部分，所述第二刚度大于所述第一刚度，其中所述弹性耦合结构的所述第一部分在所述第一方向和所述第二方向上延伸，并且其中在所述延伸平面中，所述第二部分在第三方向上延伸，所述第三方向横向于所述第一方向和所述第二方向。
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