买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种二维纳米图形化衬底及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115799421B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211646649.1，技术领域涉及：H10H20/82；该发明授权一种二维纳米图形化衬底及其制备方法是由孙晓娟;陈洋;黎大兵;蒋科;贲建伟;贾玉萍;张山丽;吕顺鹏;臧行;刘明睿设计研发完成，并于2022-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种二维纳米图形化衬底及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请提供的二维纳米图形化衬底及制备方法，在支撑衬底上制备石墨烯薄膜；在所述石墨烯薄膜上沉积金属薄膜；将所述金属薄膜转变为非连续的金属纳米粒子；在所述金属纳米粒子掩膜刻蚀石墨烯图形；去除纳米石墨烯图形上的金属纳粒子掩膜；在所述石墨烯图形上生长氮化物材料，上述二维纳米图形化衬底及制备方法，相较于现有的电子束曝光、纳米压印和纳米小球掩膜等方案，其工艺简单可行，成本能够得到有效控制；其次，适用于大尺寸、批量化构建，以上对应技术细节均适用于此优势；最后，纳米图形尺寸等几何参数具有高度灵活可调性，对于后续高质量氮化物材料的侧向外延具有重要促进作用。

本发明授权一种二维纳米图形化衬底及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种二维纳米图形化衬底的制备方法，其特征在于，包括下述步骤： 在支撑衬底上制备石墨烯薄膜； 在所述石墨烯薄膜表面制备金属纳米粒子； 在所述金属纳米粒子掩膜刻蚀石墨烯图形； 去除所述石墨烯上的金属纳米粒子掩膜； 在所述石墨烯图形上生长氮化物材料； 在所述石墨烯薄膜表面制备金属纳米粒子的步骤中，具体包括下述步骤：利用电子束蒸发、热蒸发或磁控溅射，在所述石墨烯薄膜上沉积金属薄膜，所述金属薄膜的种类包括金、银、铜或铝；再置于500-800摄氏度高温热退火，将所述金属薄膜转变为非连续的纳米粒子； 所述支撑衬底包括氮化物异质外延衬底或氮化物单晶模板，所述氮化物异质外延衬底包括蓝宝石、碳化硅或硅；所述氮化物单晶模板包括氮化铝或氮化镓单晶； 在所述石墨烯薄膜表面制备金属纳米粒子的步骤中，还可以选择下述步骤： 在所述石墨烯表面旋涂非连续的金属纳米粒子的溶液，所述非连续的金属纳米粒子的溶液包括纳米金、纳米银、纳米铜或纳米铝的溶液； 在所述纳米粒子掩膜刻蚀石墨烯图形的步骤中，具体包括下述步骤：以所述纳米粒子作为掩膜，采用等离子体刻蚀技术将裸露的所述石墨烯薄膜刻蚀去除；通过刻蚀液中提供的化学反应，将所述纳米粒子腐蚀去除，得到支撑衬底上的纳米图形化石墨烯结构，完成二维纳米图形化衬底的构建。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，其通讯地址为：130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。