株式会社日本显示器福田加一获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社日本显示器申请的专利蒸镀掩模的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115874144B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211142523.0,技术领域涉及:C23C14/04;该发明授权蒸镀掩模的制造方法是由福田加一设计研发完成,并于2022-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸镀掩模的制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种用简单的方法来制造蒸镀效率优异的蒸镀掩模的制造方法。蒸镀掩模的制造方法包括:将抗蚀剂图案作为掩模来形成第一镀层的步骤;使所述抗蚀剂图案变形的步骤;和将变形后的所述抗蚀剂图案作为掩模,在所述第一镀层之上形成第二镀层的步骤。通过使所述抗蚀剂图案变形,可以使变形后的所述抗蚀剂图案与所述第一镀层的一部分重叠。
本发明授权蒸镀掩模的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种蒸镀掩模的制造方法,其特征在于,包括: 将抗蚀剂图案作为掩模来形成第一镀层的步骤; 在形成所述第一镀层的步骤之后,使形成所述第一镀层的步骤中所使用的所述抗蚀剂图案变形的步骤;和 将变形后的所述抗蚀剂图案作为掩模,在所述第一镀层之上形成第二镀层的步骤。
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