楚赟精工科技(上海)有限公司谢鹏飞获国家专利权
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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利MOCVD反应室的隔离挡板装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115874281B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211625208.3，技术领域涉及：C30B25/14；该发明授权MOCVD反应室的隔离挡板装置是由谢鹏飞;张志明;刘雷;邢志刚;徐春阳;金隽设计研发完成，并于2022-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本MOCVD反应室的隔离挡板装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种MOCVD反应室的隔离挡板装置，包括环形挡板、位于环形挡板内部适用于容纳冷却液的夹层流道、位于夹层流道一端的注液通道、位于夹层流道另一端的出液通道，以及将夹层流道和注液通道连通的多个纵向分布的注入通路、将夹层流道和出液通道连通的多个纵向分布的排出通路。本发明通过调整隔离挡板装置中冷却液注入和导出夹层流道的位置使得夹层流道内冷却液分布范围更广且分布更均匀，改善了隔离挡板装置冷却不均匀的问题，从而提高了反应室内部温场分布的均匀性。
本发明授权MOCVD反应室的隔离挡板装置在权利要求书中公布了：1.一种MOCVD反应室的隔离挡板装置，其特征在于，包括： 环形挡板、位于所述环形挡板内部适于容纳冷却液的夹层流道、位于所述夹层流道一端的注液通道、位于所述夹层流道另一端的出液通道，以及将所述夹层流道和所述注液通道连通的多个纵向分布的注入通路、将所述夹层流道和所述出液通道连通的多个纵向分布的排出通路； 所述夹层流道与所述环形挡板在竖直方向的剖面上具有相同的形状，所述夹层流道由上至下包括多个内径不同的环形段部； 所述环形段部的内径由上至下逐渐增大，且位于所述夹层流道最上部的环形段部的内径上下均相同，其他环形段部的内径以不同斜率由上至下逐渐增大； 所述注入通路和所述排出通路在所述夹层流道的两端关于所述夹层流道的中心轴线对称设置； 至少一个所述注入通路的注入点位于最上部的环形段部，以及至少一个所述注入通路的注入点位于最下部的环形段部； 每个所述环形段部均设有所述注入通路的注入点，每个所述环形段部上的所述注入通路的注入点均匀分布。
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