株式会社日立高新技术人见敬一郎获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社日立高新技术申请的专利带电粒子束图像处理装置和具备其的带电粒子束装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115908465B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211043700.X，技术领域涉及：G06T7/13；该发明授权带电粒子束图像处理装置和具备其的带电粒子束装置是由人见敬一郎;川崎贵裕设计研发完成，并于2022-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本带电粒子束图像处理装置和具备其的带电粒子束装置在说明书摘要公布了：本发明提供带电粒子束图像处理装置和具备其的带电粒子束装置。提供能对包含线条图案的边缘的观察像设定适当的检查区域的带电粒子束图像处理装置。带电粒子束图像处理装置对带电粒子束装置所生成的观察像进行图像处理，特征在于，具备：提取部，其从所述观察像的检查区域提取线条图案的边缘；分割部，其将所述检查区域分割成具有多个测量点数的区划；测量部，其在所述区划的各自中测量线条边缘粗糙度，生成每个区划的线条边缘粗糙度的分布数据；算出部，其算出所述检查区域的全域中的线条边缘粗糙度，算出每个区划的线条边缘粗糙度的理论曲线；和判定部，其基于所述分布数据与所述理论曲线的比较，来判定所述检查区域是否适当。
本发明授权带电粒子束图像处理装置和具备其的带电粒子束装置在权利要求书中公布了：1.一种带电粒子束图像处理装置，对带电粒子束装置所生成的观察像进行图像处理，其特征在于，具备： 提取部，其从所述观察像的检查区域以对所述检查区域设定的采样间隔提取线条图案的边缘； 分割部，其将所述检查区域分割成具有多个测量点数的区划； 测量部，其在所述区划的各自中测量线条边缘粗糙度，生成每个区划的线条边缘粗糙度的分布数据； 算出部，其算出所述检查区域的全域中的线条边缘粗糙度，并算出每个区划的线条边缘粗糙度的理论曲线； 判定部，其基于所述分布数据与所述理论曲线的比较来判定所述检查区域是否适当；和 显示部，其在判定为所述检查区域不适当时，显示所述采样间隔是疏还是密，以进行所述检查区域的再设定， 所述判定部在所述分布数据的线条边缘粗糙度的最大值处于根据所述理论曲线求得的上限值与下限值之间时，或者在标准化为所述分布数据的面积成为1的标准化数据与所述理论曲线的相关系数为给定的范围内时，判定为所述检查区域适当。
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