中国科学技术大学缪泓获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利一种非隔振条件下的高精度离面变形测量系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115962729B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310067805.7,技术领域涉及:G01B11/16;该发明授权一种非隔振条件下的高精度离面变形测量系统及方法是由缪泓;章如月设计研发完成,并于2023-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种非隔振条件下的高精度离面变形测量系统及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种非隔振条件下的高精度离面变形测量系统及方法,包括激光光源及光路、图像高速采集系统、激光多普勒测振系统。本发明利用高速相机和激光多普勒测振仪同步持续测量,高速相机记录参考端和物端干涉形成的图样,并筛选出受失相关影响较小的有效条纹图;激光多普勒测振仪测量由振动引起的刚体位移并将其作为相移;得到一系列初始状态相同并且相移已知的条纹图,将其用于物体变形前后的位相计算,得到高精度的物体变形信息。本发明不但可以避免振动过大引起的散斑失相关现象,也减小了振动引起的面内位移产生的误差,并且解决了相移不准确及振动位相和变形位相无法区分的问题。
本发明授权一种非隔振条件下的高精度离面变形测量系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种非隔振条件下的高精度离面变形测量系统,其特征在于,包括:激光光源及光路、图像高速采集系统和激光多普勒测振系统; 所述激光光源及光路,产生稳定光源的He-Ne激光发生器和基于迈克尔逊干涉原理搭建的光路; 所述光路中,被测物体5置于隔振平台12以外,激光器1、扩束器2、分光器3、参考镜4和高速相机6置于隔振平台12上; 激光器1发出稳定的点光源,经过扩束器2后点光源被扩束成为一组均匀的平行光,该平行光经过分光器3被分束为两个相同的光束,其中一束光束照射在被测物体5上,经过被测物体5表面漫反射后沿光路返回成为测量光束;另一束照射在参考镜4上,经过参考镜4表面反射后同样沿光路返回成为参考光束,参考光束和测量光束在高速相机6靶面上发生干涉形成与变形量相关的干涉图; 所述图像高速采集系统,为记录激光干涉图样的高速相机6; 所述激光多普勒测振系统11,用于测量被测物体5离面振动位移的激光多普勒测振仪,激光多普勒测振系统11包括第一激光多普勒测振仪7、第二激光多普勒测振仪8和第三激光多普勒测振仪9;所述第一激光多普勒测振仪7、第二激光多普勒测振仪8、第三激光多普勒测振仪9置于隔振平台12上,并且在空间上非共线;第一激光多普勒测振仪7、第二激光多普勒测振仪8、第三激光多普勒测振仪9的激光垂直入射到被测物体5的刚体部分,返回的激光通过频率解调,得到被测物体上测量点的离面位移。
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