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龙图腾网获悉苏州德龙激光股份有限公司申请的专利用于晶圆贴膜后的自动撕膜机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116092979B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310059991.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于晶圆贴膜后的自动撕膜机构是由赵裕兴;高峰设计研发完成，并于2023-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于晶圆贴膜后的自动撕膜机构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶圆贴膜后的自动撕膜机构，包括撕膜手臂、撕膜台及放膜烫膜组件，撕膜手臂设于撕膜台的一侧，且撕膜手臂与撕膜台呈相邻平行设置，放膜烫膜组件安装于撕膜台的正上方，利用压膜气缸通气压紧胶带，控制托板二气缸推进带动第二托板伸出，使得交代穿过压膜块的凹槽，与此同时放膜电机通电进行皮带传动，保证卷材胶带处于绷紧状态，再将贴附背胶的晶圆片置于吸附盘上，对有背胶面朝上进行晶圆片加热，最后利用旋转电机驱动吸附盘转动角度，便于撕膜处理。本发明结构紧凑，能够实现晶圆表面的自动化撕膜，并同时集成至晶圆加工的自动化流水线中，有效提高作业效率，降低人工成本。

本发明授权用于晶圆贴膜后的自动撕膜机构在权利要求书中公布了：1.用于晶圆贴膜后的自动撕膜机构，包括撕膜手臂1、撕膜台2及放膜烫膜组件3，所述撕膜手臂1设于撕膜台2的一侧，且撕膜手臂1与撕膜台2呈相邻平行设置，所述放膜烫膜组件3安装于撕膜台2的正上方，其特征在于：所述撕膜手臂1包括直线模组11、气缸13、夹紧气缸15及吹嘴16，所述直线模组11上设有滑动块，所述气缸13通过气缸固定板12与滑动块活动相接，且气缸13的滑台上安装有臂板14，所述臂板14的固定有下夹块19，且臂板14与下夹块19之间固定安装有夹紧气缸15，夹紧气缸15的伸出端与上夹块17的端部固定连接，所述吹嘴16通过顶丝穿过吹嘴固定块18与其相接，吹嘴固定块18再与臂板14连接固定；所述撕膜台2包括旋转台22与两级伸缩机构24，所述旋转台22固定于底座21上，所述两级伸缩机构24安装在旋转台22的底端，且两级伸缩机构24上设有升降托板23；所述放膜烫膜组件3包括膜片式夹紧气缸34、升降气缸一35、升降气缸二312、加热块升降气缸317、割膜气缸319，所述升降气缸一35和升降气缸二312依次安装在固定底板31上，升降气缸一35的伸出杆与第一升降底板310固定连接，所述第一升降底板310上侧表面固定安装有放膜电机32，所述膜片式夹紧气缸34与放膜电机32相邻安装，膜片式夹紧气缸34通过放膜辊33固定于第一升降底板310上，所述第一升降底板310的下侧表面依次安装有托板二气缸38、托板一气缸37、导膜块36及压膜气缸39，所述托板一气缸37与第一托板313连接，托板一气缸37缩回运作带动第一托板313伸出，所述托板二气缸38与第二托板315连接，托板二气缸38推进运作带动第二托板315伸出，所述第二托板315的下侧设有压膜块314，升降气缸二312的伸出端固定安装于第二升降底板311上，所述加热块升降气缸317通过L型的第三固定板316安装于第二升降底板311上，加热块升降气缸317的伸出端上设有加热块318，所述割膜气缸319安装在第三固定板316上，割膜气缸319的伸出端设有割膜刀320； 所述旋转台22上设有两组导轨221、旋转电机222及吸附盘224，所述两组导轨221分别安装于旋转台22底部的两侧上表面，且两组导轨221均与旋转台22的底板连接，所述旋转电机222通过丝杠螺母紧固安装于旋转台22的底部，所述吸附盘224固定于旋转台22上表面。

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