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龙图腾网获悉厦门大学申请的专利一种掺镨三次谐波产生的深紫外激光器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116207600B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310138991.9，技术领域涉及：H01S3/16；该发明授权一种掺镨三次谐波产生的深紫外激光器是由徐斌;王冬设计研发完成，并于2023-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种掺镨三次谐波产生的深紫外激光器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种掺镨三次谐波产生的深紫外激光器，包括：所述第一蓝光半导体激光器和第二蓝光半导体激光器同时发射泵浦激光分别经过所述第一聚焦透镜和第二聚焦透镜聚焦后分别透射所述第一激光腔端面镜和第二激光腔端面镜入射至所述第一掺镨激光材料中，所述第一掺镨激光材料吸收两束泵浦激光后获得增益，在所述激光腔内产生掺镨可见光基波激光，掺镨可见光基波激光通过所述倍频晶体倍频后得到倍频激光，倍频激光和残余的掺镨可见光基波激光通过所述和频晶体和频后从所述第二激光腔端面镜输出，再通过所述滤波片滤除其他波长的激光后输出三次谐波深紫外激光。本发明为短波长深紫外激光的产生提供了一种简单有效的方案。

本发明授权一种掺镨三次谐波产生的深紫外激光器在权利要求书中公布了：1.一种掺镨三次谐波产生的深紫外激光器，其特征在于，包括：第一蓝光半导体激光器、第二蓝光半导体激光器、第一聚焦透镜、第二聚焦透镜、第一激光腔端面镜、第二激光腔端面镜、第三激光腔端面镜、第四激光腔端面镜、第一掺镨激光材料、倍频晶体、和频晶体、滤波片； 所述第一蓝光半导体激光器的入射光路上依次设置有所述第一聚焦透镜、第一激光腔端面镜、第一掺镨激光材料、第二激光腔端面镜；所述第二蓝光半导体激光器的入射光路上依次设置有所述第二聚焦透镜、第二激光腔端面镜、第一掺镨激光材料、第一激光腔端面镜；所述第二激光腔端面镜的反射光路上依次设置有所述和频晶体、第三激光腔端面镜；所述第三激光腔端面镜的第一反射光路上依次设置有所述倍频晶体、第四激光腔端面镜；所述第三激光腔端面镜的第二反射光路上依次设置有所述和频晶体、第二激光腔端面镜、滤波片；所述第一蓝光半导体激光器的入射光路、第二蓝光半导体激光器的入射光路、第二激光腔端面镜的反射光路、第三激光腔端面镜的第一反射光路、所述第三激光腔端面镜的第二反射光路构成激光腔； 所述第一蓝光半导体激光器和第二蓝光半导体激光器同时发射泵浦激光分别经过所述第一聚焦透镜和第二聚焦透镜聚焦后分别透射所述第一激光腔端面镜和第二激光腔端面镜入射至所述第一掺镨激光材料中，所述第一掺镨激光材料将两束泵浦激光吸收后获得增益，在所述激光腔内产生640nm的掺镨可见光基波激光，掺镨可见光基波激光在所述激光腔中传输，过程中掺镨可见光基波激光通过所述倍频晶体倍频后得到倍频激光，倍频激光和残余的掺镨可见光基波激光通过所述和频晶体和频后从所述第二激光腔端面镜输出，再后通过所述滤波片滤除其他波长的激光后输出213nm的三次谐波深紫外激光； 所述第一激光腔端面镜为平面镜，其镀膜可对所述泵浦激光波长高透，对所述掺镨可见光基波激光高反，所述第一激光腔端面镜的镀膜直接制备在所述第一掺镨激光材料前端，有利于减少损耗，提升输出激光的性能。

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