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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种蓝宝石晶圆自动铲片装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116259566B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211089632.0，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种蓝宝石晶圆自动铲片装置及方法是由崔思远;吴琼琼;黄知文;金从龙设计研发完成，并于2022-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种蓝宝石晶圆自动铲片装置及方法在说明书摘要公布了：一种蓝宝石晶圆自动铲片装置及方法，其中安装架设有工作台，工作台上设有旋转台，旋转台上方设有承载盘，承载盘一侧设有气浮导轨、收集卡塞；气浮导轨的导轨面贯穿设有微孔阵列，气浮导轨底部设有导流腔；承载盘上方间隔设有铲刀、风刀、旋转架，旋转架上设有真空吸盘。利用旋转台、调距执行件分别对承载盘及晶圆形成旋转驱动及倾角控制，由风刀、铲刀及真空吸盘组件对晶圆阵列的内圈、外圈进行分布式自动铲取、转移作业，在送入气浮导轨后，令晶圆被正压气膜托浮至漂移状态以保障不受物理冲击，而后滑落至收集卡塞内进行收集，确保晶圆与载具分离、转移操作的高度自动化，同时确保晶圆品质完好及收集片序的一致性，增益晶圆制造行业的生产效益。

本发明授权一种蓝宝石晶圆自动铲片装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种蓝宝石晶圆自动铲片装置，包括安装架，其特征在于：所述安装架上设有铰座、调距执行件，并间隔设有工作台，所述工作台一端与所述铰座铰接安装，另一端与所述调距执行件的输出轴连接；所述工作台上设有旋转执行件连接带动的旋转台，所述旋转台上方放置设有承载盘，所述承载盘一侧依次设有气浮导轨、收集卡塞；所述气浮导轨固定于所述工作台上，所述气浮导轨入口对准所述承载盘，所述气浮导轨的导轨面贯穿设有多个微孔等距排列形成的微孔阵列，所述气浮导轨底部设有导流腔；所述收集卡塞为一侧设有多层U形槽口的开口容器，并将所述U形槽口对准所述气浮导轨出口，所述收集卡塞与竖移模组连接，所述竖移模组具有竖向驱动功能，并设于所述工作台上；所述承载盘上方间隔设有铲刀、风刀、旋转架，所述铲刀、所述风刀通过铰接机构安装于所述安装架上，所述旋转架通过旋转机构安装于所述安装架上，所述旋转架的一端或两端设有朝向下方的真空吸盘； 所述导流腔的腔体延伸路径呈封闭框形结构，其框形结构上开口的长宽尺寸大于下开口的对应尺寸，所述上开口与所述气浮导轨进行无缝对接，所述下开口下端置空，所述下开口内部设有导流框，所述导流框外壁轮廓与所述下开口内壁轮廓形成等距阵列，所述导流框外壁与所述下开口内壁夹持形成出气缝，所述出气缝与所述导流腔内腔贯穿连通；所述导流腔一旁设有正压设备，所述正压设备正压端通过管路贯穿所述导流腔腔壁并连通于其内腔；所述导流腔内壁设有斜向布置的斜壁，所述斜壁内侧面呈向内凸起的弧面，所述斜壁内侧面与所述下开口内侧面的衔接部位形成外圆角，所述斜壁内侧面与所述上开口内侧面的衔接部位形成内圆角。

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