合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司王盼盼获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司申请的专利掩膜版组件及掩膜装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116288147B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310311299.1,技术领域涉及:C23C14/04;该发明授权掩膜版组件及掩膜装置是由王盼盼;邹敏;金玉;李慧设计研发完成,并于2023-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩膜版组件及掩膜装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种掩膜版组件及掩膜装置。掩膜版组件包括框架、多个掩膜条和压平装置;其中,掩膜条设置在框架上,压平装置包括压平部件,压平部件能相对掩膜条移动,并能在相对掩膜条移动的过程中压平掩膜条的褶皱。如此设置,通过设置包括压平部件的压平装置,可以在掩膜条产生褶皱后,将压平部件置于掩膜条的一侧,并使压平部件沿着掩膜条移动,从而将掩膜条上的褶皱压平,进而提高后续的蒸镀精度,改善混色等异常。
本发明授权掩膜版组件及掩膜装置在权利要求书中公布了:1.一种掩膜版组件,其特征在于,包括: 框架: 多个掩膜条,所述掩膜条设置在所述框架上:以及, 压平装置,所述压平装置包括压平部件,所述压平部件能相对所述掩膜条移动,并能在相对所述掩膜条移动的过程中压平所述掩膜条的褶皱;所述压平部件包括滚轮,所述滚轮具有沿第一方向的滚动自由度,所述掩膜条沿所述第一方向延伸; 所述压平装置还包括磁力部件,所述磁力部件和所述压平部件分别设于所述掩膜条的厚度方向的不同侧,所述磁力部件通过磁力吸附的方式将所述压平部件沿所述厚度方向保持在所述掩膜条上:所述磁力部件设置在所述掩膜条上侧、并将位于所述掩膜条下侧的所述压平部件吸附于所述掩膜条下表面。
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