乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司卢沅泰获国家专利权
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龙图腾网获悉乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司申请的专利使用抑制剂分子的高纵横比结构的沉积方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116508134B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180077331.3，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权使用抑制剂分子的高纵横比结构的沉积方法是由卢沅泰;李柱昊;朴镇亨;让-马克·吉拉尔设计研发完成，并于2021-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用抑制剂分子的高纵横比结构的沉积方法在说明书摘要公布了：披露了一种用于改善沉积在衬底中的高纵横比HAR孔上的膜的厚度控制的沉积方法。该方法包括：i将该衬底依次或同时暴露于抑制剂的蒸气、前体的蒸气和共反应物的蒸气；以及ii通过气相沉积工艺在该HAR孔上沉积具有希望的厚度控制的膜，其中该抑制剂含有O、N、S、P、B、C、F、Cl、Br或I。
本发明授权使用抑制剂分子的高纵横比结构的沉积方法在权利要求书中公布了：1.一种用于改善沉积在衬底中的高纵横比HAR孔上的膜的厚度控制的沉积方法，该方法包括： i将该衬底依次或同时暴露于抑制剂的蒸气、前体的蒸气和共反应物的蒸气；以及 ii通过气相沉积工艺在该HAR孔上沉积具有希望的厚度控制的膜，其中该前体是HfCpNMe23、ZrCpNMe23、Nb＝NtBuCpNMe22或TiCp*OMe3； 其中该抑制剂选自二甲氧基乙烷DME、三乙胺TEA、四甲基乙二胺TMEDA、二甲基乙二胺DMEDA或三2-氨基乙基胺。
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