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龙图腾网获悉福建金石能源有限公司申请的专利一种箱式可扩展堆栈PECVD系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116516321B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310162685.9，技术领域涉及：C23C16/509；该发明授权一种箱式可扩展堆栈PECVD系统是由杨与胜;曲永鹏;曾清华;程序;黄发明;林海奕设计研发完成，并于2023-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种箱式可扩展堆栈PECVD系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种箱式可扩展堆栈PECVD系统，它包括带有可移动腔门的反应腔体、通过特气管路向反应腔体供气的特气柜、通过抽气管路抽吸反应腔体内气体的真空泵组、通过固定座组件设于反应腔体内且可横向布置和或纵向布置的多个堆栈式反应承载组件、分布于堆栈式反应承载组件旁侧的加热组件以及为用电设备提供电力支持的电柜。本发明的目的在于提供一种箱式可扩展堆栈PECVD系统，镀膜均匀性高，设备占地面积小，产能高，可极大地降低设备成本。

本发明授权一种箱式可扩展堆栈PECVD系统在权利要求书中公布了：1.一种箱式可扩展堆栈PECVD系统，其特征在于：它包括带有可移动腔门的反应腔体、向反应腔体供气的供气组件、抽吸反应腔体内气体的真空泵组、可横向布置和或纵向布置于反应腔体内的多个堆栈式反应承载组件以及设于反应腔体内且分布于每个堆栈式反应承载组件旁两侧的加热组件； 所述堆栈式反应承载组件主要由一片以上的第一电极以及与第一电极极性相反的一片以上的第二电极构成；相邻的第一电极与第二电极间隔排列且板面相对以形成镀膜区间，镀膜区间的第一电极和或第二电极的板面用于承载基材，且第一电极和第二电极采用绝缘支撑柱进行绝缘和固定，且绝缘支撑柱设置在第一电极与第二电极的一相对两侧、并与加热组件位于同一侧；所述反应腔体上设有相互配合使气体流经镀膜区间的进气结构和出气结构，进气结构设置在可移动腔门内，出气结构设置在反应腔体的远离可移动腔门的一侧腔壁上，所述进气结构与供气组件相连，所述出气结构与真空泵组相连，每片硅片镀膜区间都有对应的进气与抽气回路；所述第一电极和第二电极为极板式结构，其设有凸出部作为电极连接端，电极连接端位于镀膜区间的出气结构一侧； 所述进气结构包括对反应腔体内、外腔壁间的空间进行分隔形成两个以上匀气腔的一块以上扰流板；所述扰流板和反应腔体内腔壁由外到内依次布置，其匀气孔从疏到密进行设置；所述反应腔体外腔壁设有与供气组件相连的进气孔；所述反应腔体内腔壁上的匀气孔采用喷淋式结构。

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