中国科学院宁波材料技术与工程研究所汪爱英获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院宁波材料技术与工程研究所申请的专利(110)面择优取向的MAX相涂层及制备方法与应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116657104B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310637676.0，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权(110)面择优取向的MAX相涂层及制备方法与应用是由汪爱英;周广学;王振玉;陈仁德;王丽设计研发完成，并于2023-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本(110)面择优取向的MAX相涂层及制备方法与应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种110面择优取向的MAX相涂层及制备方法与应用。所述制备方法包括：采用双靶高功率脉冲磁控溅射复合同步脉冲偏压技术，以金属靶和C靶为靶材，并使金属靶与C靶之间的磁场为磁铁极性相反的闭合磁场或磁铁极性相同的镜面磁场，从而在基体表面沉积110面择优取向的MAX相涂层；其中，所述金属靶选自TiAl靶、CrAl靶或VAl靶。本发明提供的MAX相涂层的沉积温度低，同时110面择优取向的MAX相涂层的具有纯度高、表面平滑、成分均匀、结构致密等优点，在耐高温氧化或耐腐蚀防护领域有很好的应用前景。
本发明授权(110)面择优取向的MAX相涂层及制备方法与应用在权利要求书中公布了：1.一种110面择优取向的MAX相涂层的制备方法，其特征在于，包括： 采用双靶高功率脉冲磁控溅射复合同步脉冲偏压技术，以金属靶和C靶为靶材，并使金属靶与C靶之间的磁场为磁铁极性相反的闭合磁场或磁铁极性相同的镜面磁场，从而在基体表面沉积110面择优取向的MAX相涂层；其中，所述金属靶选自CrAl靶； 所述双靶高功率脉冲磁控溅射复合同步脉冲偏压技术中对基体施加的脉冲负偏压的频率为100~1000Hz，占空比为10~15%，脉宽为150~1500μs，延时为0~250μs，幅值为0~200V；所述沉积温度为320~350℃。
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