纳峰真空镀膜(上海)有限公司蔡镇洲获国家专利权
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龙图腾网获悉纳峰真空镀膜(上海)有限公司申请的专利一种用于辉光放电镀膜的辅助阴极装置及镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116732503B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310885329.X，技术领域涉及：C23C16/50；该发明授权一种用于辉光放电镀膜的辅助阴极装置及镀膜设备是由蔡镇洲;曹祥银;郝胜昔设计研发完成，并于2023-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于辉光放电镀膜的辅助阴极装置及镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于辉光放电镀膜的辅助阴极装置及镀膜设备，装置包括：多个辅助阴极；所述辅助阴极沿周向设于作为阴极的镀膜转架上，所述镀膜转架上沿周向设有多个挂杆，所述辅助阴极位于所述挂杆的内侧，且所述辅助阴极与所述挂杆在所述镀膜转架上的设置高度对应，以通过调节所述辅助阴极与所述挂杆之间的距离，调节辉光放电镀膜时沿高度方向上的电场分布。本发明可实现对装载于挂杆上不同高度位置的镀膜件的膜厚的均匀性加以控制，实现膜层均匀性、膜层质量以及产能的明显提高，从而能有效降低成本。
本发明授权一种用于辉光放电镀膜的辅助阴极装置及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种用于辉光放电镀膜的辅助阴极装置，其特征在于，包括： 多个辅助阴极；所述辅助阴极沿周向设于作为阴极的镀膜转架上，所述镀膜转架上沿周向设有多个挂杆，所述辅助阴极位于所述挂杆的内侧，且所述辅助阴极与所述挂杆在所述镀膜转架上的设置高度对应，以通过调节所述辅助阴极与对应的所述挂杆之间的距离，调节辉光放电镀膜时沿高度方向上的电场分布；所述辅助阴极面向所述挂杆一侧的表面为凸出的弧面，所述辅助阴极包括竖直设于所述镀膜转架上的框体，所述框体中沿高度方向设有多层屉仓，每层所述屉仓中设有抽屉，所述抽屉上设有屉门，所述屉门面向所述镀膜转架外侧设置，所述抽屉用于调节所述辅助阴极与所述挂杆对应部位之间的距离。
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