中国科学院宁波材料技术与工程研究所刘宁涛获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院宁波材料技术与工程研究所申请的专利一种氧化镓薄膜及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116770237B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310744569.8，技术领域涉及：C23C14/28；该发明授权一种氧化镓薄膜及其制备方法和应用是由刘宁涛;张文瑞;叶继春设计研发完成，并于2023-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化镓薄膜及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本申请提供一种氧化镓薄膜及其制备方法和应用。所述氧化镓薄膜的制备方法包括：在有臭氧存在的环境中，利用氧化镓靶材和脉冲激光沉积法在衬底上沉积氧化镓薄膜。该方法通过在脉冲激光沉积过程中原位引入臭氧，借助过氧化氛围的构建，产生抑制电离和补偿效应，进而使制备的氧化镓薄膜具有良好电绝缘特性。相比于通过元素掺杂实现氧化镓薄膜高绝缘性的方法，本申请提供的制备方法工艺简单、易于实施且具有经济，具有实用性和规模化生产前景。本申请另外还提供一种施主掺杂氧化镓材料的电气调制方法，实现对氧化镓材料的电绝缘性的调控。
本发明授权一种氧化镓薄膜及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种氧化镓薄膜的制备方法，其特征在于，包括：在有臭氧存在的环境中，利用氧化镓靶材和脉冲激光沉积法在衬底上沉积氧化镓薄膜。
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