齐鲁中科光物理与工程技术研究院梁变变获国家专利权
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龙图腾网获悉齐鲁中科光物理与工程技术研究院申请的专利一种电子束蒸发用气管集成式的穴状坩埚获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116875943B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310688492.7，技术领域涉及：C23C14/30；该发明授权一种电子束蒸发用气管集成式的穴状坩埚是由梁变变;杨峰;寇洋;黄康;程鹏;刘新宇;张梦蝶设计研发完成，并于2023-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电子束蒸发用气管集成式的穴状坩埚在说明书摘要公布了：本发明涉及电子束蒸发镀膜设备技术领域，尤其公开了一种电子束蒸发用气管集成式的穴状坩埚，包括坩埚，坩埚内设有反应室，所述反应室的外侧绕其轴线环形设有第一通孔，所述坩埚底部设有匀气盖板，与传统技术相比，本技术方案通过在每个反应室的四周设置环形分布的第一通孔，以及匀气盖板与分流装置贴合连接的方式，实现了第一腔室内的反应气体和第二腔室的惰性气体均可以均匀的通入到反应室内，保证了反应室内温度均匀和材料氧化充分，以及减少了在设备破空时外界空气对材料的污染。
本发明授权一种电子束蒸发用气管集成式的穴状坩埚在权利要求书中公布了：1.一种电子束蒸发用气管集成式的穴状坩埚，包括坩埚1，所述坩埚1内设有多个反应室2，其特征在于：每个所述反应室2的外侧绕其轴线环形设有第一通孔3，所述坩埚1底部设有匀气盖板4，匀气盖板4上设有与所述第一通孔3的位置一一对应的第二通孔5，所述第二通孔5和第一通孔3通过气管连通，匀气盖板4底部设有分流装置6，分流装置6、匀气盖板4和坩埚1为同轴安装，匀气盖板4和坩埚1可相对分流装置6转动，分流装置6内设有相互独立的第一腔室7和第二腔室8，所述匀气盖板4与分流装置6贴合从而使第二通孔5与第一腔室7和第二腔室8连通； 所述分流装置6包括挡板10和底盘11，底盘11的顶面向内凹陷形成第一凹槽12，所述挡板10位于第一凹槽12内，所述挡板10的顶面和底面均向内凹陷形成第二凹槽13； 通过使匀气盖板4和坩埚1相对分流装置6转动，可以控制单个反应室2外侧的第一通孔3与第一腔室7连通或是与第二腔室8连通。
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