拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司谈太德获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利一种半导体晶圆托盘水平度调节保持系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116904969B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310930340.3，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权一种半导体晶圆托盘水平度调节保持系统是由谈太德;贾闯;张晓玉;赵吉蛟;陈新益设计研发完成，并于2023-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆托盘水平度调节保持系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，更具体的说，涉及一种半导体晶圆托盘水平度调节保持系统。本发明提出的半导体晶圆托盘水平度调节保持系统，包括水平螺旋调节机构为螺纹柱状结构；楔形自锁机构的中间设置有螺纹紧固结构；水平螺旋调节机构依次穿过半导体晶圆托盘的固定工装以及半导体晶圆托盘底部的安装部件后，与楔形自锁机构通过螺纹连接。本发明提供的半导体晶圆托盘水平度调节保持系统，采用螺旋调节机构并增加读数功能，操作方便灵活，调节精度高。
本发明授权一种半导体晶圆托盘水平度调节保持系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆托盘水平度调节保持系统，其特征在于，包括水平螺旋调节机构和楔形自锁机构： 所述水平螺旋调节机构为螺纹柱状结构； 所述楔形自锁机构的中间设置有螺纹紧固结构； 所述水平螺旋调节机构，依次穿过半导体晶圆托盘的固定工装以及半导体晶圆托盘底部的安装部件后，与楔形自锁机构通过螺纹连接； 其中，所述水平螺旋调节机构，至少包括传动螺杆和微调旋钮： 所述传动螺杆，中间段设有固定螺距的传动螺纹，与半导体晶圆托盘的固定工装通过螺纹连接； 所述微调旋钮，包括连接旋钮、弹簧、第一棘轮、第二棘轮和旋钮外壳： 所述连接旋钮，一端连接传动螺杆，另一端设置有连接键； 所述弹簧，设置在连接旋钮与第一棘轮之间； 所述第一棘轮，一侧端面设置有连接槽，用于容纳连接键； 所述第一棘轮的齿牙，与第二棘轮的齿牙啮合； 所述旋钮外壳，与第二棘轮连接固定。
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