上海应用技术大学黄彪获国家专利权
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龙图腾网获悉上海应用技术大学申请的专利一种宽温域润滑TiAlVAgN复合涂层及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116926481B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310837171.9,技术领域涉及:C23C14/32;该发明授权一种宽温域润滑TiAlVAgN复合涂层及其制备方法是由黄彪;张而耕;周琼;陈强;梁丹丹;彭宗言设计研发完成,并于2023-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种宽温域润滑TiAlVAgN复合涂层及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种宽温域润滑TiAlVAgN复合涂层及其制备方法,该复合涂层包括依次沉积于基体1表面的TiN打底层2、TiAlN过渡层3、TiAlVN中间层4和TiAlVAgN层5,所述的复合涂层总厚度为3.5~5.5μm;该方法通过阴极电弧离子镀工艺制备复合涂层,包括清洁靶材、TiN打底层2制备、TiAlN过渡层3制备、TiAlVN中间层4制备、TiAlVAgN层5制备和真空环境保温。与现有技术相比,本发明的复合涂层韧性进一步提升,使其在保持良好耐磨性的同时能够实现常温至800℃工作环境下的润滑,应用于涂层轴承上使得涂层轴承的使用寿命得到进一步的提升。
本发明授权一种宽温域润滑TiAlVAgN复合涂层及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种宽温域润滑TiAlVAgN复合涂层,其特征在于,该复合涂层包括依次沉积于基体1表面的TiN打底层2、TiAlN过渡层3、TiAlVN中间层4和TiAlVAgN层5,所述的复合涂层总厚度为3.5~5.5μm; 所述的TiN打底层2厚度为0.2~0.4μm,所述的TiAlN过渡层3厚度为0.4~0.6μm,所述的TiAlVN中间层4厚度为0.4~0.6μm,所述的TiAlVAgN层5厚度为2.5~3.9μm; 所述的宽温域润滑TiAlVAgN复合涂层由包括以下步骤的制备方法制得,该方法通过阴极电弧离子镀工艺制备复合涂层: 1清洁靶材:预抽真空,设置炉腔温度,通入惰性气体,Ti靶、AlTi靶、TiAlV靶和TiAlAg靶自清洁; 2TiN打底层2制备:控制真空度和炉腔温度,Ti靶接入电流,通入反应气体,沉积,获得TiN打底层2; 3TiAlN过渡层3制备:控制真空度和炉腔温度,AlTi靶接入电流,通入反应气体,沉积,获得TiAlN过渡层3; 4TiAlVN中间层4制备:控制真空度和炉腔温度,AlTiV靶接入电流,通入反应气体,沉积,获得TiAlVN中间层4; 5TiAlVAgN层5制备:控制真空度和炉腔温度,AlTiV靶接入电流,AlTiAg靶接入电流,通入反应气体,沉积,获得TiAlVAgN层5; 6真空环境保温:控制真空度和炉腔温度,保温; 步骤2中Ti靶电流为120~140A; 反应气体为氮气,流量为160~200sccm; 沉积偏压为-120~-100V,时间为10~15min; 步骤3中AlTi靶电流为110~130A; 反应气体为氮气,流量为120~150sccm; 沉积偏压为-100~-80V,时间为20~25min; 步骤4中AlTiV靶电流为130~150A; 反应气体为氮气,流量为120~150sccm; 沉积偏压为-110~-90V,时间为18~24min; 步骤5中AlTiV靶电流为120~140A,AlTiAg靶电流为150~180A; 反应气体为氮气,流量为180~210sccm; 沉积偏压为-120~-90V,时间为60~100min。
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