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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种基于共体复用全息图的极紫外物镜装调方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116953951B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310759047.5，技术领域涉及：G02B27/62；该发明授权一种基于共体复用全息图的极紫外物镜装调方法是由卞殷旭;匡翠方;高金铭;刘旭;李海峰设计研发完成，并于2023-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于共体复用全息图的极紫外物镜装调方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于共体复用全息图的极紫外物镜装调方法。通过使用共体复用全息图，保证了共体复用全息图自身、凹面主镜、标准自准直反射镜的姿态位置，实现了一个共体复用全息图同时且静态地标定了多个物体，避免了极紫外光刻物镜的误差来源。干涉仪的焦点与极紫外光刻物镜的光轴上物点重合，简化了装调系统。本发明的装调方法中，误差精度由标准干涉仪的测量精度、标准自准直反射镜的平整度和全息图精度三项保证。装调精度误差来源更少，误差更小。

本发明授权一种基于共体复用全息图的极紫外物镜装调方法在权利要求书中公布了：1.一种基于共体复用全息图的极紫外物镜装调方法，极紫外物镜包括凹面主镜和凸面次镜，其特征在于，使用用于装调极紫外物镜的共体复用全息图， 所述极紫外物镜包括凹面主镜和凸面次镜，装调时还使用干涉仪，所述共体复用全息图包括基板，所述基板上具有： 反射膜区域，镀有反射膜，用于标定所述共体复用全息图与干涉仪的光轴平行度， 自定位全息图区域，用于标定所述共体复用全息图与干涉仪的光轴重合度、位置定位和姿态定位， 主镜定位全息图区域，用于标定所述共体复用全息图、凹面主镜与干涉仪的光轴重合度、位置和姿态， 离焦准直全息图区域，用于标定凸面次镜的位置与姿态； 所述基于共体复用全息图的极紫外物镜装调方法包括以下步骤： 步骤1，布置干涉仪和自准直反射镜，其中干涉仪的焦点位于凸面次镜的工作面外侧，自准直反射镜在极紫外物镜共轭工作面的外侧，并且，自准直反射镜上镀反射膜的面正对所述干涉仪， 步骤2，干涉仪的光线出射口具有标准透射球，移去标准透射球，此时干涉仪出射的是平行光，通过调整所述自准直反射镜的姿态，使得干涉仪检测的条纹达到0级条纹，此时，干涉仪的光轴达到绝对垂直于自准直反射镜， 步骤3，移入所述凹面主镜，通过观察干涉仪上的图像，初步判定凹面主镜与干涉仪对正且同轴， 步骤4，移入所述共体复用全息图，基于自定位全息图区域对共体复用全息图进行定位， 步骤5，基于主镜定位全息图区域调整凹面主镜姿态，完成凹面主镜的装调， 步骤6，移入凸面次镜，基于离焦准直全息图区域调整凸面次镜姿态，完成凸面次镜的装调， 步骤7，移出干涉仪、自准直反射镜和共体复用全息图； 共体复用全息图中自定位全息图区域、离焦准直全息图区域和主镜定位全息图区域这三者的全息图基于以下步骤设计： 步骤1.1，先计算获得全息图的连续相位函数； 步骤1.2，对连续相位分布函数进行8个灰度级的离散化数值处理，获得离散化相位数据； 步骤1.3，基于亚波长圆柱或圆孔柱的结构参数与离散化相位数据的映射数据表，根据步骤1.2中的离散化相位数据的对应位置，进行亚波长圆柱或圆孔柱的构建和分布。

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