东北大学;辽宁奥克化学股份有限公司;广东奥克化学有限公司田威获国家专利权
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龙图腾网获悉东北大学;辽宁奥克化学股份有限公司;广东奥克化学有限公司申请的专利一种绿色环保的金刚线切割液及制备方法、硅片的切割方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117025287B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310625374.1,技术领域涉及:C10M173/02;该发明授权一种绿色环保的金刚线切割液及制备方法、硅片的切割方法是由田威;范雷;朱建民;秦高悟;李松;刘兆滨;董振鹏设计研发完成,并于2023-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种绿色环保的金刚线切割液及制备方法、硅片的切割方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种绿色环保的金刚线切割液及制备方法、硅片的切割方法,该金刚线切割液包含阴离子表面活性剂、润湿剂、分散剂和水;在金刚线切割液中,阴离子表面活性剂的质量占比为20%~30%,润湿剂的质量占比为10%~20%,分散剂的质量占比为1%~10%;阴离子表面活性剂选自油脂烷氧基化物磺酸盐。本发明金刚线切割液以油脂烷氧基化物磺酸盐作为阴离子表面活性剂,与润湿剂和分散剂复配,所得金刚线切割液具有低泡性,润湿性和分散性等性能优势,绿色环保,成本低,生产工艺简单,适合大规模生产。
本发明授权一种绿色环保的金刚线切割液及制备方法、硅片的切割方法在权利要求书中公布了:1.一种绿色环保的金刚线切割液,其中,该金刚线切割液由阴离子表面活性剂、润湿剂、分散剂和水组成;以所述金刚线切割液的总质量为基准,所述阴离子表面活性剂的质量占比为20%~30%,所述润湿剂的质量占比为10%~20%,所述分散剂的质量占比为1%~10%;所述阴离子表面活性剂选自油脂烷氧基化物磺酸盐OXOS-128;所述润湿剂选自脂肪醇嵌段聚醚,所述脂肪醇嵌段聚醚包含聚环氧乙烷嵌段和聚环氧丙烷嵌段; 所述脂肪醇嵌段聚醚的数均分子量为435~449; 所述脂肪醇嵌段聚醚的制备方法包括: 以脂肪醇作为起始剂,向反应体系引入RuMgO催化剂,惰性气体清洗反应器腔体,升温至引发温度,加入部分第一单体引发反应; 加入剩余部分的所述第一单体进行第一聚合反应; 加入第二单体进行第二聚合反应; 降温出料得所述脂肪醇嵌段聚醚; 其中,所述RuMgO催化剂是以金属镁为基体,所述金属镁的表面为三维多孔的MgO,Ru纳米粒子负载于MgO表面及孔道中; 所述第一单体和所述第二单体分别为环氧乙烷和环氧丙烷中的一种。
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