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龙图腾网获悉匠岭科技(上海)有限公司申请的专利晶圆表面缺陷检测的方法、装置及其计算机程序产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117115079B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310804927.X，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权晶圆表面缺陷检测的方法、装置及其计算机程序产品是由刘玉振设计研发完成，并于2023-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆表面缺陷检测的方法、装置及其计算机程序产品在说明书摘要公布了：本发明的技术方案提供了一种晶圆表面缺陷检测的方法、装置及其计算机程序产品，其中，所述晶圆表面缺陷检测的方法包括：获取标准图像采集条件下测试晶圆的表面图像，其中，所述测试晶圆表面具有若干周期性规律的图案；利用标准模板图像与所述测试晶圆的表面图像中最小周期图像逐一进行比对；根据分析比对结果判断缺陷：当所述标准模板图像与所述测试晶圆的表面图像中最小周期图像之间的区别超过判断阈值，判断所比对的所述测试晶圆的表面图像中最小周期图像所在的区域为缺陷区域。本发明所提供的晶圆表面缺陷检测的方法提升了缺陷检测的效率，提升产品良率。

本发明授权晶圆表面缺陷检测的方法、装置及其计算机程序产品在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面缺陷检测的方法，其特征在于，包括： 获取标准图像采集条件下测试晶圆的表面图像，其中，所述测试晶圆经过涂胶显影，表面具有周期性规律排布的芯片图案； 获取所述测试晶圆对应的标准模板图像、设定的检测阈值和标准方差倍数，所述标准模板图像包括最小周期性规律图形，所述标准模板图像包括灰度值和标准方差灰度值； 利用标准模板图像对所述测试晶圆的表面图像中最小周期图像逐一进行形状匹配，以选择出需要检测的最小周期图像； 基于所述设定的检测阈值、所述标准方差倍数、所述灰度值和所述标准方差灰度值，分别计算亮缺陷阈值和暗缺陷阈值，所述亮缺陷阈值大于所述暗缺陷阈值； 当所述需要检测的最小周期图像的灰度值大于所述亮缺陷阈值，确定所述灰度值所在区域为亮缺陷区域； 当所述需要检测的最小周期图像的灰度值小于所述暗缺陷阈值，确定所述灰度值所在区域为暗缺陷区域； 所述标准模板图像的获取步骤包括： 基于晶圆图像的图形规律，使用傅里叶变换求共轭系数，将图像信息从空间域变换到频域，利用二维正弦波拟合灰度值的起伏变化，求出水平与垂直方向周期规律图像尺寸，计算出周期性规律图形尺寸，以得到最小周期性规律图形，确定所述最小周期性规律图形为初始模板图； 基于初始模板图预设匹配分数和前置模板图尺寸，在所述标准图像中提取出n个最小周期的周期性规律图形为前置模板图； 剔除与初始模板图匹配分数最高与最低的前置模板图； 对剩下的n-2个所述前置模板图的图像叠加处理，获得平均图与标准方差图，最后合并得到最佳图像作为标准模板图像； 所述利用标准模板图像对所述测试晶圆的表面图像中最小周期图像逐一进行形状匹配包括： 在所述测试晶圆的表面图像上各处抽样进行形状匹配，选择出检测的最小周期的周期性规律图形的位置；或， 在所述测试晶圆的表面图像上按照预设的扫描规律和扫描移动间距，逐点行列的对测试晶圆的表面图像中各处进行形状匹配，逐点行列的选择出检测的最小周期的周期性规律图形的位置。

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