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龙图腾网获悉昆山义亨科技有限公司申请的专利一种多模式物理气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117286453B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311290755.5，技术领域涉及：C23C14/22；该发明授权一种多模式物理气相沉积设备是由孙晓光;陈维国;贾鹏宽设计研发完成，并于2023-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多模式物理气相沉积设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种多模式物理气相沉积设备，涉及薄膜制备技术领域，包括车体，所述车体顶部固定连接有控制系统部件，所述车体顶部远离控制系统部件的一侧按矩形方位固定连接有四个支撑柱，四个所述支撑柱顶部安装有反应筒，所述反应筒远离控制系统部件的一端外壁铰接有箱门，所述反应筒内部设置有置物板，所述反应筒内部靠近箱门的一侧固定连接有隔热密封板，所述反应筒底部内壁开设有下料口，所述隔热密封板外壁设置有通过旋转刷的旋转动作以实现对待制备薄膜的金属表面清扫的辅助洁净机构，实现对金属表面清洁的目的，使得金属表面呈干燥且洁净的状态，从而有利于后续金属表面薄膜的制备，提升了镀膜均匀性，进而提高了薄膜制备的品质。

本发明授权一种多模式物理气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种多模式物理气相沉积设备，包括车体1，所述车体1顶部固定连接有控制系统部件2，所述车体1顶部远离控制系统部件2的一侧按矩形方位固定连接有四个支撑柱301，四个所述支撑柱301顶部安装有反应筒3，所述反应筒3远离控制系统部件2的一端外壁铰接有箱门302，其特征在于：所述反应筒3内部设置有置物板31，所述反应筒3内部靠近箱门302的一侧固定连接有隔热密封板32，所述反应筒3底部内壁开设有下料口703； 所述隔热密封板32外壁设置有通过旋转刷410的旋转动作以实现对待制备薄膜的金属表面清扫的辅助洁净机构，所述辅助洁净机构包括有固定连接于隔热密封板32外壁的清洁箱401，所述清洁箱401侧壁固定连接有第一固定块402，所述第一固定块402内部贯穿转动连接有一号转动轴403，所述一号转动轴403底部且位于第一固定块402下方固定连接有齿轮404，所述清洁箱401侧壁远离第一固定块402的一侧固定连接有第二固定块405，所述第二固定块405顶部转动连接有二号转动轴406，所述一号转动轴403顶部固定连接有第一带轮407，所述二号转动轴406顶部固定连接有第二带轮408，所述第一带轮407与第二带轮408之间传动连接有皮带409，所述旋转刷410转动设置于清洁箱401顶端内壁，所述旋转刷410与皮带409传动连接配合； 所述反应筒3内部设置有通过环形刮片604的刮除动作以实现对反应筒3内壁粘附杂质的刮除机构，所述刮除机构包括有对称固定连接于固定架502外壁的圆柱导杆601，所述圆柱导杆601外壁设置有第一固定环602，所述第一固定环602内壁与圆柱导杆601外壁滑动配合，所述第一固定环602远离固定架502的一侧固定连接有第二固定环603，所述第二固定环603外轮廓直径小于第一固定环602外轮廓直径，所述环形刮片604固定连接于第一固定环602外壁，所述第二固定环603靠近环形刮片604的一侧外壁固定连接有收尘罩605，所述第二固定环603外壁还固定连接有连杆701，所述连杆701远离第二固定环603的一端固定连接于置物板31外壁； 所述置物板31内部设置有通过把手804的推拉动作以实现控制置物板31出入的辅助控制机构，所述辅助控制机构包括有开设于置物板31内部的长槽801，所述长槽801内壁固定连接有限位块802，所述长槽801内部滑动设置有拉环803，所述拉环803位于限位块802外侧，所述把手804与拉环803端部固定连接，所述拉环803两侧外壁均对称固定连接有支杆805，所述支杆805顶部转动连接有导向轮806，所述导向轮806与长槽801侧壁滚动配合。

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