上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司王豪晨获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利一种研磨头更换工具及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117340780B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311444352.1，技术领域涉及：B24B37/34；该发明授权一种研磨头更换工具及方法是由王豪晨设计研发完成，并于2023-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种研磨头更换工具及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种研磨头更换工具及方法，工具包括：叠设的第一支撑垫和第二支撑垫，以及连接所述第一支撑垫和所述第二支撑垫的第三支撑垫，所述第一支撑垫、所述第二支撑垫和所述第三支撑垫围成密封空间；所述第一支撑垫和所述第二支撑垫中的一个用于放置在研磨盘上，所述第一支撑垫和所述第二支撑垫中的另一个上用于放置研磨头，通过控制使所述密封空间的体积因压力增加而扩大，使得所述第一支撑垫和所述第二支撑垫之间发生相互远离的相对运动，将所述研磨头从所述研磨盘上抬升至目标高度以安装。本发明具有取材方便，制作简便，成本低廉，更换方法便捷的优点。
本发明授权一种研磨头更换工具及方法在权利要求书中公布了：1.一种研磨头更换工具，其特征在于，包括： 叠设的第一支撑垫和第二支撑垫，以及连接所述第一支撑垫和所述第二支撑垫的第三支撑垫，所述第一支撑垫、所述第二支撑垫和所述第三支撑垫围成密封空间； 所述第一支撑垫和所述第二支撑垫中的一个用于放置在研磨盘上，所述第一支撑垫和所述第二支撑垫中的另一个上用于放置研磨头，通过控制使所述密封空间的体积因压力增加而扩大，使得所述第一支撑垫和所述第二支撑垫之间发生相互远离的相对运动，将所述研磨头从所述研磨盘上抬升至目标高度以安装。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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