中国科学院空天信息创新研究院鲁毓岚获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中国科学院空天信息创新研究院申请的专利一种可实现静压测量的谐振式差压传感器及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117346947B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311296975.9，技术领域涉及：G01L13/06；该发明授权一种可实现静压测量的谐振式差压传感器及制备方法是由鲁毓岚;薛涵;王军波;陈德勇;谢波设计研发完成，并于2023-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可实现静压测量的谐振式差压传感器及制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种可实现静压测量的谐振式差压传感器及制备方法，所述差压传感器包括自上而下的盖板结构、绝缘体上硅结构也即是SOI结构和导压结构；其中盖板结构包括两个小盖板即第一小盖板和第二小盖板和一个大盖板，SOI结构包括器件层、埋氧层和衬底层。本发明利用梁膜一体化结构具有应力放大效果，提高现有技术中静压和差压测量灵敏度小的问题，以及因此带来的迟滞大、重复性差、精度差的问题。
本发明授权一种可实现静压测量的谐振式差压传感器及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种可实现静压测量的谐振式差压传感器，其特征在于，所述差压传感器包括自上而下的盖板结构、绝缘体上硅结构也即是SOI结构和导压结构；其中盖板结构包括两个小盖板即第一小盖板和第二小盖板和一个大盖板，SOI结构包括器件层、埋氧层和衬底层； SOI结构的器件层上，制作有三个谐振器，即第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器；其中，第一谐振器和第二谐振器具有大的差压灵敏和小的静压灵敏度，而第三谐振器具有大的静压灵敏度和小的差压灵敏度；在与第一、第二、第三谐振器依次对应的每个谐振器周围分布有第一、第二、第三偏置电极，第一、第二、第三驱动电极和第一、第二、第三检测电极，以上第一、第二、第三偏置电极，第一、第二、第三驱动电极和第一、第二、第三检测电极构成谐振器的附属电极，驱动电极上通有交变的电信号，驱动电极和谐振器两者之间正对的部分形成一个电容器；在驱动电极的作用下，谐振器工作在自身的谐振频率；同时，谐振器和另一侧的检测电极之间的电容发生变化，通过电容的变化检测出谐振器的谐振频率；谐振器及其附属电极通过埋氧层固定到衬底层的压力敏感膜上；且在每组谐振器之间有贯穿器件层的隔离槽。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院空天信息创新研究院，其通讯地址为：100190 北京市海淀区北四环西路19号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励