福建晶安光电有限公司李彬彬获国家专利权
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龙图腾网获悉福建晶安光电有限公司申请的专利一种纳米压印机构、设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117706868B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311839616.3，技术领域涉及：G03F7/00；该发明授权一种纳米压印机构、设备及方法是由李彬彬;巫婷;吴福仁;李瑞评设计研发完成，并于2023-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种纳米压印机构、设备及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，提供一种纳米压印机构、设备及方法，其中纳米压印机构包括承片台，用于承载衬底；固定装置，设置于所述承片台的上方；所述固定装置包括工作腔，所述工作腔内设置有模板安装件以及位于模板安装件下方的软膜固定件；当所述工作腔对固定于软膜固定件上的软膜施加气压时，所述软膜的表面形成有不同目标区域的形变；所述工作腔内还设置有加热装置，所述加热装置用于对不同目标区域的软膜表面进行加热。通过设计加热装置对软膜表面进行加热的结构来抵消或减弱不同目标区域之间软膜不同程度的形变对图形周期变化的影响程度，从而提高压印制程的均匀性，提升压印质量。
本发明授权一种纳米压印机构、设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种纳米压印机构，其特征在于，包括： 承片台，用于承载衬底； 固定装置，设置于所述承片台的上方；所述固定装置包括工作腔，所述工作腔内设置有模板安装件以及位于模板安装件下方的软膜固定件；当所述工作腔对固定于软膜固定件上的软膜施加气压时，所述软膜的表面形成有不同目标区域的形变； 所述工作腔内还设置有加热装置，所述加热装置用于对不同目标区域的软膜表面进行加热；所述加热装置根据加热温度对软膜进行加热以控制不同目标区域之间软膜的形变均匀性；所述加热温度是基于软膜表面形成的不同目标区域的形变量所生成的，所述形变量表示为未施加气压和施加气压状态下软膜表面同一位置的垂直位移量。
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