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龙图腾网获悉上海广川科技有限公司申请的专利一种紧凑型晶圆传输设备机械手与上料端口互锁系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117878032B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311291445.5，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种紧凑型晶圆传输设备机械手与上料端口互锁系统是由张贤龙;马刚;曹洁;桂浩;徐益辉;朱运东;吴继昌;雍友;董阳;董怀宝;李莹莹设计研发完成，并于2023-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种紧凑型晶圆传输设备机械手与上料端口互锁系统在说明书摘要公布了：一种晶圆传输设备机械手与Loadport互锁系统，包括安全光栅、对射传感器以及控制模块；安全光栅安装在装卸端口Loadport安装面往后距离M的位置上，用于检测晶圆传输设备机械手是否在所述装卸端口Loadport启闭动作的位置上；对射传感器安装在装卸端口Loadport升降门的位置处并兼顾升降门落下的位置，用于检测装卸端口Loadport的升降门是否处在动作的过程中；控制模块用于接收安全光栅及所述对射传感器的信号并分析处理，给晶圆传输设备机械手及装卸端口Loadport下达互锁指令，以确保在装卸端口Loadport的升降门在启闭时，晶圆传输设备机械手停止执行装卸动作。因此，本发明有效的解决了因减小EFEM深度和机器人手指侵入到装卸端口Loadport升降门动作范围内造成的干涉问题，并且减少了EFEM占地面积。

本发明授权一种紧凑型晶圆传输设备机械手与上料端口互锁系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输设备机械手与装卸端口互锁系统，所述晶圆传输设备机械手1用于从具有升降门的装卸端口Loadport2取放晶圆；所述装卸端口Loadport2在开启所述升降门时，所述升降门需向所述晶圆传输设备机械手1伸出的方向对冲距离M后，向下垂直缩进打开；所述装卸端口Loadport2在关闭所述升降门时，需从所述晶圆传输设备机械手1向下垂直缩进打开时的位置上升，到位后沿所述晶圆传输设备机械手1伸出的方向前进距离M关闭；其特征在于，包括安全光栅3、对射传感器4以及控制模块； 所述安全光栅3安装在所述装卸端口Loadport2安装面往后距离M的位置上，用于检测所述晶圆传输设备机械手1是否在所述装卸端口Loadport2启闭动作的位置上； 所述对射传感器4安装在所述装卸端口Loadport2升降门的位置处并兼顾升降门落下的位置，用于检测所述装卸端口Loadport2的升降门是否处在动作的过程中； 所述控制模块用于接收所述安全光栅3及所述对射传感器4的信号并分析处理，给所述晶圆传输设备机械手1及所述装卸端口Loadport2下达互锁指令，以确保在所述装卸端口Loadport2的升降门在启闭时，所述晶圆传输设备机械手1停止执行装卸动作。

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