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华润微电子(重庆)有限公司李黎获国家专利权

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龙图腾网获悉华润微电子(重庆)有限公司申请的专利一种聚酰亚胺薄膜及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118179875B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211598702.5,技术领域涉及:B05D1/00;该发明授权一种聚酰亚胺薄膜及其制备方法是由李黎设计研发完成,并于2022-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种聚酰亚胺薄膜及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种聚酰亚胺薄膜及其制备方法,该聚酰亚胺薄膜的制备方法包括以下步骤:提供一衬底,并将衬底固定于旋涂机器的转动平台上;以第一转速转动衬底并于衬底上表面喷涂粘附剂,在转动第一预设时间后,以第二转速转动第二预设时间,以得到粘附层;以第三转速转动衬底,于转动的粘附层的上表面喷涂聚酰亚胺,并在转动第三预设时间后,以第四转速转动第四预设时间,在转动第四预设时间后,以第五转速转动第五预设时间;在预设温度下,以第一预设温度对衬底进行烘烤;将烘烤后衬底置于炉管中,并以第二预设温度对衬底进行退火,以得到聚酰亚胺薄膜。本发明通过改进形成聚酰亚胺薄膜的工艺,提升了聚酰亚胺薄膜的质量,缩短了制备时间。

本发明授权一种聚酰亚胺薄膜及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种聚酰亚胺薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 提供一衬底,并将所述衬底固定于旋涂机器的转动平台上; 开启所述旋涂机器,以第一转速转动所述衬底,于转动的所述衬底的上表面喷涂第一预设剂量的粘附剂,并在转动第一预设时间的所述衬底后,以第二转速转动第二预设时间的所述衬底,以得到附着于所述衬底上表面的粘附层,所述第一转速的范围为300rpms~500rpms,所述第二转速的范围为600rpms~800rpms; 以第三转速转动所述衬底,于转动的所述粘附层的上表面喷涂第二预设剂量的聚酰亚胺,并在转动第三预设时间的所述衬底后,以第四转速转动第四预设时间的所述衬底,在所述衬底转动第四预设时间后,以第五转速转动第五预设时间的所述衬底以得到聚酰亚胺薄膜,所述第三转速的范围为300rpms~500rpms,所述第四转速的范围为1200rpms~2100rpms,所述第五转速的范围为600rpms~800rpms; 在第一预设温度下,对形成有所述聚酰亚胺薄膜的所述衬底进行烘烤第六预设时间; 将烘烤后的所述衬底置于炉管中,并以第二预设温度对形成有所述聚酰亚胺薄膜的所述衬底进行第七预设时间的退火,对形成有所述聚酰亚胺薄膜的所述衬底进行退火的过程中,所述衬底处于保护气体及还原气体的氛围中。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华润微电子(重庆)有限公司,其通讯地址为:401331 重庆市沙坪坝区西永大道25号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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