上海大学张建华获国家专利权
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龙图腾网获悉上海大学申请的专利放电等离子型极紫外光源功率的测量装置及测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118641029B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410869351.X，技术领域涉及：G01J1/42；该发明授权放电等离子型极紫外光源功率的测量装置及测量方法是由张建华;郑佳乐;凌晓;周陈昊;肖皓轩设计研发完成，并于2024-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本放电等离子型极紫外光源功率的测量装置及测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种放电等离子型极紫外光源功率的测量装置及测量方法，所述装置包括：滤光片，用于对DPP型光源出光进行带外滤光，形成滤光后的光束，其位于第一真空腔体与第二真空腔体之间；反射镜，位于第二真空腔体内，用于对滤光后的光束进行带内滤光，形成带内极紫外光束；极紫外光电二极管，用于将带内极紫外光束的光信号转变为电流信号；计算模块，用于根据电流信号和极紫外光电二极管的电流‑功率响应曲线，得到特定立体角下DPP型光源的带内极紫外光功率；并根据特定立体角下DPP型光源的极紫外光功率，得到DPP型光源的极紫外光功率。本发明的装置结构简单，易于搭建实验平台，能够准确、快速地测得DPP型光源的极紫外光功率。
本发明授权放电等离子型极紫外光源功率的测量装置及测量方法在权利要求书中公布了：1.一种放电等离子型极紫外光源功率的测量装置，其特征在于，包括： 滤光片，所述滤光片用于对DPP型光源出光进行带外滤光，形成滤光后的光束；所述滤光片位于第一真空腔体与第二真空腔体之间，所述第一真空腔体包括光源真空腔体，所述第二真空腔体与所述第一真空腔体相连通； 反射镜，位于所述第二真空腔体内，所述反射镜用于对滤光后的光束进行带内滤光，形成带内极紫外光束； 极紫外光电二极管，位于所述第二真空腔体内，所述带内极紫外光束反射后到达所述极紫外光电二极管的探测平面处，所述极紫外光电二极管用于将所述带内极紫外光束的光信号转变为电流信号； 计算模块，用于根据所述电流信号和极紫外光电二极管的电流-功率响应曲线，得到特定立体角下DPP型光源的带内极紫外光功率；并根据特定立体角下DPP型光源的极紫外光功率，得到DPP型光源的极紫外光功率。
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