华海清科股份有限公司郑烨获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利电涡流终点检测装置及化学机械抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118875960B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411280835.7，技术领域涉及：B24B37/005；该发明授权电涡流终点检测装置及化学机械抛光设备是由郑烨;侯映红;田芳馨;王同庆设计研发完成，并于2024-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本电涡流终点检测装置及化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种电涡流终点检测装置及包括其的化学机械抛光设备。所述电涡流终点检测装置包括壳体、PCB板以及控制模块。所述PCB板封装在所述壳体中，并包括集成在其中的谐振电路，所述谐振电路包括感应线圈；所述控制模块与所述PCB板电连接，所述控制模块基于所述谐振电路中的电流信号检测朝向所述PCB板设置的晶圆的金属膜的厚度。根据本申请的技术方案，通过将感应线圈集成在PCB板中，提高了感应线圈的制造精度和集成效率，避免了传统绕线线圈制造误差较大及检测偏差较大的问题，提高了终点检测的精确性和一致性。
本发明授权电涡流终点检测装置及化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种电涡流终点检测装置，用于处理晶圆的化学机械抛光设备，其特征在于，所述电涡流终点检测装置包括： 壳体，所述壳体由隔热材料制成，所述壳体中填充有环氧树脂； PCB板，其封装在所述壳体中，并包括集成在其中的谐振电路，所述谐振电路包括感应线圈，所述感应线圈集成制造在PCB板的相对的两个表层之间； 挡圈，嵌套固定于所述壳体的内壁，所述挡圈构造有定位部，所述PCB板基于所述定位部安装到所述挡圈、并经由所述挡圈设置在所述壳体的端部；以及 控制模块，其与所述PCB板电连接，所述控制模块基于所述谐振电路中的电流信号的变化信息或能量损耗值检测朝向所述PCB板设置的晶圆的金属膜的厚度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华海清科股份有限公司，其通讯地址为：300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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