福建金石能源有限公司杨与胜获国家专利权
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龙图腾网获悉福建金石能源有限公司申请的专利一种一站式PECVD沉积方法及其设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118880297B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410958188.4，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权一种一站式PECVD沉积方法及其设备是由杨与胜;单洪青;程序设计研发完成，并于2024-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种一站式PECVD沉积方法及其设备在说明书摘要公布了：本发明涉及PECVD镀膜技术领域，公开了一种一站式PECVD沉积方法及其设备，该方法采用若干PECVD沉积腔同步、长节拍一站式完成异质结电池正背面钝化层或掺杂层或大型平板显示基板的多晶硅薄膜的工艺沉积和辅助动作，以堆栈方式一次完成各沉积腔载板的批传送。该设备包括一体化沉积模块和堆栈式输入、输出模块。一体化沉积模块用于实现太阳能电池或大型平板显示基板的多沉积腔同步、长节拍一站式工艺沉积和一次辅助动作，并与堆栈式输入、输出模块组合，实现载板的批传送。本发明满足大规模量产同时避免沉积过程被多站节拍分割成若干空间和时间片断，实现了沉积工艺的完整性和灵活性，有利于提升沉积质量与工艺升级空间，具有高效节能和低成本等特点。
本发明授权一种一站式PECVD沉积方法及其设备在权利要求书中公布了：1.一种一站式PECVD沉积方法，其特征在于：包括以下步骤： S1、上料预热子循环：上料机将待沉积物料装至载板上，再将N1块载板运送至预热腔中预热，预热完成后送至一体化沉积腔中沉积；其中，预热腔中的载板采用堆栈式放置； S2、一站式沉积子循环：一体化沉积腔中设置有N2个沉积腔；预热完成的堆栈式N1块载板一批次地运送至各自沉积腔中沉积，同时将沉积完成的N3块载板一批次地传送至冷却腔中；其中，每个沉积腔对应一块载板，每块载板在各自的沉积腔中同步完成沉积和辅助动作； S3、冷却下料子循环：沉积完后的载板一批次地传送至冷却腔中冷却，冷却完成后，将载板传送至下料机进行下料；其中冷却腔中的载板采用堆栈式放置。
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