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龙图腾网获悉北京中科科仪股份有限公司申请的专利一种扫描电镜用热场发射电子枪的测试装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118937385B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410991700.5，技术领域涉及：G01N23/2251；该发明授权一种扫描电镜用热场发射电子枪的测试装置及方法是由石晓倩;孟祥良;尹贻恒;刘涛设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种扫描电镜用热场发射电子枪的测试装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供的一种扫描电镜用热场发射电子枪的测试装置及方法，属于电镜扫描技术领域，一种扫描电镜用热场发射电子枪的测试装置包括：电子枪、主体、真空获得组件、荧光屏、偏转结构、真空计、束流计；在检测过程中，先将电子枪放置在主体的检测空间内，通过机械泵、分子泵和离子泵的配合使检测空间处于真空状态，随后通过荧光屏、偏转结构、真空计、束流计对扫描电镜用热场发射电子枪的性能进行定量评测，包括：对中性、耐压性、亮度、束偏转特性、阳极处电流和束流稳定度。通过本装置可以实现对电子枪进行多种性能测试，并且提高整体检测效率。

本发明授权一种扫描电镜用热场发射电子枪的测试装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种扫描电镜用热场发射电子枪的测试装置，其特征在于，包括： 电子枪9，适于发射电子束； 主体1，内部具有检测空间11； 真空获得组件2，与所述检测空间11连通，所述真空获得组件2适于对所述检测空间11进行抽真空工作； 荧光屏3，设置在所述检测空间11内；所述荧光屏3适于接收所述电子枪9发射出的电子束，所述荧光屏3适于显示电子束斑的直径； 偏转结构4，设置在所述检测空间11内，所述偏转结构4通过改变的磁场实现控制电子束的偏移； 真空计5，设置在所述检测空间11内，所述真空计5适于实时监测检测空间11内的真空度； 束流计6，设置在所述检测空间11内，所述束流计6适于接收所述电子枪9发射出的电子束，并得到电子束的束流值； 所述束流计6包括： 法拉第杯61，设置在所述检测空间11内，所述法拉第杯61用于收集电子束； 皮安表62，适于与所述法拉第杯61连接，所述皮安表62适于读取所述法拉第杯61内电子束流值； 驱动件63，端部与法拉第杯61连接；所述驱动件63驱动所述法拉第杯61在所述检测空间11内移动； 当需要所述皮安表62对电子束进行检测时，所述驱动件63驱动所述法拉第杯61移动，将所述法拉第杯61移动到电子束附近，使所述法拉第杯61收集电子束并被所述皮安表62所检测，当所述皮安表62不需要对电子束进行检测时，所述驱动件63驱动所述法拉第杯61远离电子束，电子束正常落到所述荧光屏3上。

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