清华大学马原获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利微球驱动方法、掩膜制备方法及微针阵列的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118954424B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411028332.0，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权微球驱动方法、掩膜制备方法及微针阵列的制备方法是由马原;汪家道;喻博闻;张轩鹤设计研发完成，并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本微球驱动方法、掩膜制备方法及微针阵列的制备方法在说明书摘要公布了：本公开提供了一种微球驱动方法、掩膜制备方法及微针阵列的制备方法，包括：将微球分散于第一液体中，其中，第一液体容置于一容腔内；以及朝向容腔的局部区域注入第二液体，其中，第二液体的表面能低于第一液体的表面能；随着第二液体由局部区域朝容腔的其它区域扩散，第二液体在容腔内的浓度呈梯度分布，在第二液体的浓度差所产生的表面能差的驱动下，微球朝向第二液体的浓度降低的方向运动。本公开采用浓度梯度诱导的方式实现了驱动微球运动，从而可以快速制备大面积的微球刻蚀掩模及微针阵列，制备效率高，制备成本低。
本发明授权微球驱动方法、掩膜制备方法及微针阵列的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种微针阵列的制备方法，其特征在于，包括： 对基底进行预处理； 在预处理后的基底上形成图案化的光刻胶层； 采用微球驱动方法驱动微球运动，直至微球在容腔的液面上紧密排列形成单层微球阵列；其中，所述微球驱动方法包括： 将微球分散于第一液体中，其中，所述第一液体容置于所述容腔内；以及 朝向所述容腔的局部区域注入第二液体，其中，所述第二液体的表面能低于所述第一液体的表面能；随着所述第二液体由所述局部区域朝所述容腔的其它区域扩散，所述第二液体在所述容腔内的浓度呈梯度分布，在所述第二液体的浓度差所产生的表面能差的驱动下，所述微球朝向所述第二液体的浓度降低的方向运动； 将微球阵列转移到形成有光刻胶层的基底上，得到覆盖所述光刻胶层的微球掩膜层；以及 对所述基底进行离子刻蚀，其中，所述基底的不被所述光刻胶层覆盖且被所述微球掩膜层覆盖的表面被刻蚀形成微针，所述基底的被所述光刻胶层和所述微球掩膜层均覆盖的表面不形成微针，以得到图案化的微针阵列。
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