株式会社荏原制作所樋渡良辅获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利镀覆装置用电阻体以及镀覆装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119096009B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202280019933.8,技术领域涉及:C25D17/00;该发明授权镀覆装置用电阻体以及镀覆装置是由樋渡良辅;増田泰之;下山正设计研发完成,并于2022-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀覆装置用电阻体以及镀覆装置在说明书摘要公布了:本发明提供能够提高形成于基板的镀覆膜的均匀性的电阻体等。本发明提供在镀覆装置中配置于阳极与保持镀覆的对象物的支架之间的电场调整用的镀覆装置用电阻体。在该镀覆装置用电阻体中,具备:第1电阻部件,其具有第1面,并形成有在上述第1面开口的多个第1贯通孔;和第2电阻部件,其具有第2面,并形成有在上述第2面开口的多个第2贯通孔,该镀覆装置用电阻体构成为,以上述第1面与上述第2面对置的方式配置上述第1电阻部件以及上述第2电阻部件,上述多个第1贯通孔与上述多个第2贯通孔的重叠的大小可变。
本发明授权镀覆装置用电阻体以及镀覆装置在权利要求书中公布了:1.一种镀覆装置用电阻体,其是在镀覆装置中配置于阳极与保持镀覆的对象物的支架之间的电场调整用的镀覆装置用电阻体, 所述镀覆装置用电阻体的特征在于,具备: 第1电阻部件,所述第1电阻部件具有第1面,并形成有在所述第1面开口的多个第1贯通孔;和 第2电阻部件,所述第2电阻部件具有第2面,并形成有在所述第2面开口的多个第2贯通孔, 所述镀覆装置用电阻体构成为,以所述第1面与所述第2面对置的方式配置所述第1电阻部件以及所述第2电阻部件,所述多个第1贯通孔与所述多个第2贯通孔的重叠的大小可变, 所述第2电阻部件配置为覆盖所述第1电阻部件中的供所述第2电阻部件配置的面的一部分, 在所述第1电阻部件的供所述第2电阻部件配置的面中的没有被所述第2电阻部件覆盖的第3面形成有第3贯通孔, 所述第1电阻部件具备具有第1外径的第1部分、和具有比所述第1外径小的第2外径的第2部分,在所述第1部分形成有所述第1面,在所述第2部分形成有所述第3面, 所述第2电阻部件为环状,所述第1电阻部件的所述第2部分插入环状的所述第2电阻部件的中空部。
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