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龙图腾网获悉南京泰回淼生物科技有限公司申请的专利一种晶片光刻机的干燥装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119126501B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411544771.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种晶片光刻机的干燥装置是由王军;金铭设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶片光刻机的干燥装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶片光刻机的干燥装置，涉及晶片光刻机配件技术领域，包括晶片光刻机主机，晶片光刻机主机的上端固定安装有箱体组件，箱体组件包括有主框和副框，主框的内部卡接有吸水组件，晶片光刻机主机的上端固定安装有气体循环组件，主框的上端固定安装有辅助组件，通过箱体组件和气体循环组件，使得晶片光刻机主机内部的空气进行循环，降低外部空气的介入，通过吸水组件，便于将循环空气中的水分进行吸收，通过辅助组件，提高吸水海绵对循环空气的吸水量，通过干燥包，进一步吸收循环空气中的水分，通过加热仓和辅助组件中的换热管，便于对回流至晶片光刻机主机内部的空气进行加热，方便对晶片光刻机主机的内部进行烘干，提高干燥效果。

本发明授权一种晶片光刻机的干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种晶片光刻机的干燥装置，其特征在于：包括晶片光刻机主机1，所述晶片光刻机主机1的上端固定安装有箱体组件2，所述箱体组件2的进气端与所述晶片光刻机主机1的内部上端相连通，所述箱体组件2包括有主框201和副框202，且所述主框201的内部卡接有吸水组件3，所述副框202固定安装在所述主框201的一侧，所述晶片光刻机主机1的上端位于所述箱体组件2的一侧固定安装有气体循环组件4，所述气体循环组件4的进气端与所述副框202的一端相固定连接，且所述气体循环组件4的出气端与所述晶片光刻机主机1的内部相连通，所述主框201的上端固定安装有辅助组件5，所述辅助组件5的冷端位于所述主框201的内部，所述辅助组件5的热端位于所述气体循环组件4的内部； 所述气体循环组件4包括有主气泵401，所述主气泵401的进气端与所述箱体组件2的出气端相连通，所述主气泵401的出气端固定安装有加热仓402； 所述辅助组件5包括有副气泵501，所述副气泵501固定安装在所述主框201的上端，所述副气泵501的输出端固定安装有涡流管502。

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