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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种检测设备的检测方法以及检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119153378B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411074839.X，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种检测设备的检测方法以及检测设备是由陈鲁;黄有为;王天民;庞芝亮;崔高增设计研发完成，并于2019-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种检测设备的检测方法以及检测设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种检测设备的检测方法以及检测设备，该检测方法包括以下步骤：使用机械对准模块对待测物进行粗对准，使待测物表面的对准标记位于光学对准模块的视场中；在粗对准之后，使用光学对准模块对待测物进行精对准，使待测物处于预定位置。本申请在基板进行检测之前，可通过机械对准模块、光学对准模块及承载台来调整好基板的方向，使得基板的长边方向与承载台的运动方向一致，即均为第一方向，从而能够减少全检模块的漏检，有效提高检测的准确性。

本发明授权一种检测设备的检测方法以及检测设备在权利要求书中公布了：1.一种检测设备的检测方法，其特征在于，所述检测设备包括机械对准模块、光学对准模块、全检模块、复检模块和控制系统，所述检测设备的检测方法包括以下步骤： 使用所述机械对准模块对待测物进行粗对准，所述待测物的表面具有对准标记，使所述对准标记位于所述光学对准模块的视场中； 所述粗对准之后，使用所述光学对准模块对所述待测物进行精对准，使所述待测物处于预定位置；所述光学对准模块包括至少一个光学对准探头，设置对准标记组且包括至少两个标准点； 使用所述全检模块对待测物进行扫描检测处理，获取待测物表面缺陷的缺陷信息，并根据所述缺陷信息对缺陷进行筛选处理，获取复检缺陷； 使用所述复检模块对所述复检缺陷进行复检处理，获取所述复检缺陷的复检信息； 使用所述控制系统对所述待测物的不同待测区重复所述扫描检测处理至所述复检处理的步骤；第二次及第二次之后的扫描检测处理与复检处理并行，至所述待测物的待测区均进行扫描检测处理；将第一次全面扫描中未被筛选出的缺陷，与第二次全面扫描获取的缺陷汇合，以筛选出第三次全面扫描过程中的复检缺陷； 其中，所述粗对准之后，使用所述光学对准模块对所述待测物进行精对准，使所述待测物处于预定位置包括以下分步骤：通过所述光学对准探头对所述对准标记进行拍摄，获取所述对准标记的对准图像；根据所述对准图像获取所述标准点的位置信息；根据至少两个标准点的位置信息，获取所述待测物的位置偏差；所述位置偏差包括所述待测物的平移偏移量和旋转偏移量中的一者或两者组合；根据所述位置偏差对所述待测物进行调整，使所述待测物处于预定位置； 其中，所述根据所述位置偏差对所述待测物进行调整，使所述待测物处于预定位置的步骤包括：根据所述待测物的位置偏差获取需调整量；对所述待测物进行调整，直至所述光学对准探头的视场中心与对应的所述对准标记的中心重合。

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