中国科学院上海微系统与信息技术研究所武震宇获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利一种抑制MEMS微镜串扰的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119224999B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411349929.5，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权一种抑制MEMS微镜串扰的方法是由武震宇;汪洋;张家昌;李安娜;张程设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抑制MEMS微镜串扰的方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种抑制MEMS微镜串扰的方法。由于MEMS微镜的串扰来源于机械耦合引起的高频谐振，因此本申请抑制MEMS微镜串扰的方法包括抑制MEMS微镜的高频机械谐振的步骤；抑制MEMS微镜高频谐振的方式可以通过增大第一致动器与第二致动器之间的谐振频率差，从而有效抑制双轴之间的串扰，且不以牺牲双轴的偏转角度为代价，保证MEMS微镜在各个轴向上的偏转性能；抑制MEMS微镜的高频机械谐振的方式还可以通过对激励信号进行滤波，有效滤除激励信号中的高频信号分量，减少高频谐振对MEMS微镜控制的干扰，提升MEMS微镜的控制精度。
本发明授权一种抑制MEMS微镜串扰的方法在权利要求书中公布了：1.一种抑制MEMS微镜串扰的方法，其特征在于，MEMS微镜包括镜面、以所述镜面为对称中心沿第一方向对称设置的两个第一致动器、以及以所述镜面为对称中心沿第二方向对称设置的两个第二致动器，所述第一致动器和所述第二致动器驱动所述镜面偏转，所述第一方向与所述第二方向垂直； 所述抑制MEMS微镜串扰的方法包括抑制MEMS微镜的高频机械谐振的步骤； 其中，所述抑制MEMS微镜的高频机械谐振的方式包括增大所述第一致动器与所述第二致动器之间的谐振频率差和或对激励信号进行滤波； 所述增大所述第一致动器与所述第二致动器之间的谐振频率差包括改变MEMS微镜的转动惯量； 所述改变MEMS微镜的转动惯量包括改变镜面的装配位置； 所述改变镜面的装配位置包括所述镜面沿所述第一方向偏移或者沿所述第二方向偏移。
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