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龙图腾网获悉株式会社爱发科申请的专利电子束式蒸镀单元获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119265521B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410391849.X，技术领域涉及：C23C14/30；该发明授权电子束式蒸镀单元是由矶野坚一;后田以诚;西新贵人;大桥童吾;矢岛太郎设计研发完成，并于2024-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本电子束式蒸镀单元在说明书摘要公布了：本发明的电子束式蒸镀单元具有：坩埚2，其具备多个蒸镀材料Em的收纳凹部21；电子束生成源3；电子束的成形偏转机构4；以及坩埚盖5；能够容易地实施蒸镀材料Em的填充操作和对坩埚2的维护操作。还具备：可动部，其使坩埚盖在覆盖坩埚上方的关闭姿态和使全部的收纳凹部露出的打开姿态之间可动；引导部，其在使坩埚盖从打开姿态返回到关闭姿态时，通过坩埚盖的自重将坩埚盖引导到坩埚盖的开口部51和任一收纳凹部21在上下方向上相一致的正规位置。可动部和引导部设置在覆盖与开口部的夹隔坩埚中心的径向相反侧的上方的坩埚盖的端部，由摆动自如地支撑的铰链机构6构成。通过流入到坩埚盖内的循环通道52的流入口的冷媒和流出到流出口的冷媒来冷却铰链机构6的支撑轴62。

本发明授权电子束式蒸镀单元在权利要求书中公布了：1.一种电子束式蒸镀单元，具有：坩埚，其在上表面具备多个位于同一圆周上的蒸镀材料的收纳凹部；电子束生成源，其生成电子束；以及成形偏转机构，其对电子束进行成形偏转；将成形偏转的电子束照射到收纳凹部的蒸镀材料上，使蒸镀材料蒸发，其特征在于： 还具备坩埚盖，以收纳凹部中任意一个在径向上被相位定位在电子束生成源的最近位置的坩埚的位置为照射位置，所述坩埚盖具有能够使位于照射位置的收纳凹部露出的开口部，并覆盖坩埚的上方； 还具备：可动部，其使坩埚盖在覆盖坩埚上方的关闭姿态和使全部的收纳凹部露出的打开姿态之间可动；以及引导部，以开口部和收纳凹部在上下方向上相一致的坩埚盖的位置为正规位置，在使坩埚盖从打开姿态返回到关闭姿态时，通过坩埚盖的自重将坩埚盖引导到正规位置； 可动部和引导部由摆动自如地进行支撑的铰链机构构成，其设置在覆盖与所述开口部夹隔所述坩埚的中心的径向相反侧的上方的坩埚盖的端部； 在坩埚盖内形成使冷媒循环而冷却坩埚盖的循环通道，使循环通道的流入口和流出口位于设置有铰链机构的坩埚盖的端部侧，通过流入循环通道的流入口的冷媒和流出到循环通道的流出口的冷媒使铰链机构的支撑轴冷却； 坩埚为铜材质，支撑轴为不锈钢材质。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社爱发科，其通讯地址为：日本神奈川县茅崎市荻园2500；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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