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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119594908B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411586908.5，技术领域涉及：G01B15/00；该发明授权一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统是由骆荣辉;崔建华;陈治均;白园园;马砚忠;陈鲁设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体关键尺寸量测技术领域，具体提供一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统，包括：兼容的CD‑SAXS量测系统和XRR量测系统、共用样品台、样品台、XRR运算系统以及SAXS运算系统，其中，CD‑SAXS量测系统和XRR量测系统的量测点相同且位于共用样品台上，通过XRR量测系统实时采集半导体样品的反射率信号，XRR运算系统依据反射率信号获得半导体样品的电子密度及膜层周期等关键信息，并将这些信息作为先验知识共享给SAXS运算系统，CD‑SAXS运算系统依据CD‑SAXS量测系统获取的散射信号以及先验知识计算得到半导体样品的HAR结构尺寸。本发明在CD‑SAXS量测过程中，同时、同步获取了同一量测点的反射率信息，为CD‑SAXS量测提供先验知识，有效提高了CD‑SAXS量测系统模型计算的准确性。

本发明授权一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统在权利要求书中公布了：1.一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统，其特征在于，包括：XRR运算系统和SAXS运算系统； 所述XRR运算系统依据对样品进行XRR量测获取的反射率信号求解样品进行CD-SAXS量测所需的先验知识，并将先验知识传输至所述CD-SAXS运算系统； 所述CD-SAXS运算系统用于接收所述XRR运算系统获取的先验知识，并依据对样品进行CD-SAXS量测获取的散射信号和先验知识计算样品CD-SAXS量测结果； 还包括：CD-SAXS量测系统，所述CD-SAXS量测系统用于对样品进行CD-SAXS量测，获取样品的散射信号；所述CD-SAXS量测系统发射第一X射线探测光； 还包括：XRR量测系统，所述XRR量测系统用于对样品进行XRR量测，获取样品的反射信号； 还包括：用于放置被测样品的共用样品台，所述CD-SAXS量测系统和所述XRR量测系统的量测点相同且位于所述共用样品台上； 所述XRR量测系统发射的第二X射线探测光被所述量测点位置的样品反射，并采集被样品反射的反射率信号； 所述XRR量测系统包括XRR光源单元、XRR探测单元，其中，所述XRR光源单元用于提供第二X射线探测光；所述XRR探测单元用于探测所述反射率信号； 所述第二X射线探测光射向所述量测点的光路与所述第一X射线探测光射向所述量测点的光路垂直。

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