东莞触点智能装备有限公司陈树斌获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞触点智能装备有限公司申请的专利晶圆键合压力控制机构及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120527246B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511000962.1，技术领域涉及：H01L21/603；该发明授权晶圆键合压力控制机构及方法是由陈树斌;许焕甦设计研发完成，并于2025-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆键合压力控制机构及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆键合装置技术领域，特指一种晶圆键合压力控制机构及方法。该机构包括主驱动单元、与主驱动单元连动的键合压杆，主驱动单元驱动键合压杆沿键合压力方向位移，通过键合压杆对晶圆施加键合压力，所述键合压杆通过保压气缸与主驱动单元连动，所述的键合压杆设置在保压气缸的活塞杆末端；还包括一位移传感器，通过位移传感器检测键合压杆位移变化，该位移传感器与主驱动单元电性连接。本发明将主驱动单元与保压气缸结合，形成一种复合的运行控制系统，通过控制保压气缸的气压实现对键合压力的控制和调整，确保键合压力的稳定。
本发明授权晶圆键合压力控制机构及方法在权利要求书中公布了：1.晶圆键合压力控制机构，该机构包括：主驱动单元1、与主驱动单元1连动的键合压杆3，主驱动单元1驱动键合压杆3沿键合压力方向位移，通过键合压杆3对晶圆9施加键合压力，其特征在于： 所述键合压杆3通过保压气缸4与主驱动单元1连动，所述的键合压杆3设置在保压气缸4的活塞杆41末端； 该机构还包括一位移传感器5，通过位移传感器5检测键合压杆3位移变化，该位移传感器5与主驱动单元1电性连接； 所述的保压气缸4上设置有磁力弹簧6，并且当保压气缸4内部气体压力等于零时，该磁力弹簧6提供的磁力与重力相反，平衡键合压杆3处受到的重力，令键合压杆3产生的键合压力等于零； 所述的保压气缸4通过连接座2与主驱动单元1连动，所述的保压气缸4固定在连接座2上。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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